MUSASHINO ENG 초고진공용 4축 매니퓰레이터
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ICF114 M4M-114-A M4M-114-S
초고진공용 4축 매니퓰레이터
특징
- 알루미늄 합금제로 경량.
- X, Y, Z, θ의 4축 타입.
- 초고진공 대응의 사양.
- 알루미늄 플랜지 타입은 ICF 규격으로 경면 가공 후 이온 플레이팅 처리가 되어 있다.
- 고정밀, 고해상도.
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