MUSASHINO ENG 구리합금제 극고진공시스템
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구리합금제 극고진공시스템
특징
- 저 복사율·고열 전도율이다.
- 열원으로부터의 가스 방출을 1/100까지 경감.
- 특수 처리(TOMI 연마)에서 초저가스 방출이다.
- 100℃ 정도의 저온 베이크로 10-9Pa대의 초고진공을 얻을 수 있다.
- 250℃를 초과하는 베이킹으로 용이하게 극고진공을 얻을 수 있다.
- 종래의 SUS 제품에 개량을 더함으로써 이 기술을 응용하여 가스 방출을 억제할 수 있다
사양
| 챔버 치수 | 80mm 큐빅 챔버 |
| 포트 크기 | ICF 070×6 |
| 도달 진공도 | 10 -9 Pa대(터보 분자 펌프 접속시 10 -10 Pa대) |
| 누설량 | 측정범위 한계외 |
| 무게 | 약 30kg |
| 부속 장비 | 로우 아웃 가스 타입 질량 분광계 추출기 게이지 NEG 펌프 특수 이온 펌프 (당사 제조) |
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