MUSASHINO ENG CLEVER CLUSTER(매엽식 기판 반송 장치)
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CLEVER CLUSTER(매엽식 기판 반송 장치)
○매엽 로드록을 채용한, 폐사 「SMART CLUSTER」의 자매 모델입니다.
○4인치부터 12인치까지의 기판이나 홀더에 대응 가능합니다. 또, 웨이퍼 이외의 형상으로도 대응 가능합니다. 홀더에는 복수의 시료를 탑재 가능합니다.
○ 종래의 대량 배치 방식의 처리로부터 매엽식의 로드 록 방식으로 하는 것에 의해 하기 특징을 얻을 수 있습니다.
특징
- 대형장치(배치식)에도 이기면 뒤떨어지지 않는 생산성
- 막의 균일성이 얻어진다.
- 작은 로트 성막 때문에, 막 불량 등의 트러블에 있어서의 피해를 저감
- 성막실의 교환을 간단하게 실시할 수 있다(성막실을 복수 설치 가능)
- 통상 작업시의 성막실의 대기 해방이 없기 때문에, 깨끗한 상태를 유지한다.
- 장치 전체의 공간 절약화(1/4~1/8)
- 소량 다품종의 대응이 용이
| 반송실 사이즈 | 590mm~590mm 알루미늄 합금제 |
| 도달 진공 압력 | 10-6Pa대 |
| 진공 로봇 | 싱글 핸드, 스칼라 타입 |
| 진공 로봇 씰 방식 | 자성 유체 씰 |
| 반송 도달 | 게이트면에서 305mm(Φ8" 웨이퍼시) |
| 통제 | PLC+ 터치 패널 |
처리 샘플의 사이즈・형상이나 프로세스실의 수나 형상 등, 고객의 사용에 맞추어 제작 가능합니다.
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