MUSASHINO ENG SMART CLUSTER(컴팩트 기판 반송 시스템)
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SMART CLUSTER(컴팩트 기판 반송 시스템)
특징
- 3”부터 12”까지의 기판에 대응, 또 기판 이외의 타입으로도 대응 가능
- R&D 공정 장비를 위한 최적의 저비용 반송기
- 유닛 방식의 구성에 의해 단납기로 대응
- φ300mm 기판 반송기로서 최소의 풋 프린트
- 필요 충분한 기능 한정으로 간단 셋업・간단 조작
- 다양한 용도에 풍부한 옵션 설정(개발 중)
- 유틸리티의 접속을 하는 것만으로 즉시 가동 가능한 올인원 타입과 플랫폼 개발 지원기로서 유연하게 대응 가능한 심플 타입의 2종류를 준비
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