진공 플랜지 > 모터/펌프

알루미늄 합금제 CrN 표면 처리 ICF 플랜지

특징

• 150℃의 저온 베이킹 처리로 스테인리스강을 웃도는 낮은 가스 방출율 10 ^-11 Pa·m ³ /sec·m ² (10 ^-13 Torr·l/sec·cm ² )가 가능.
• 무게가 매우 가볍습니다. (스테인리스강의 1/3)
• 플랜지의 밀봉면은 고경도의 CrN(이온 플레이팅)으로 보호된다.
• 플랜지재는 A2219를 사용. (고경도, 내열 합금)

• 자세한 내용은 여기를 참조하십시오 (PDF)

알루미늄 합금제 NiP 표면 처리 ICF 플랜지

특징

• 재료는 일반 재료(A5052, A5056)를 이용해, 처리도 NiP이므로 매우 저렴.
• 화학에 강하다. (내부식성 강)
• 진공측의 NiP막을 알코올 절삭(EL 가공)함으로써 종래의 알루미늄 챔버와 동등한 가스 방출율을 얻을 수 있다.

• 자세한 내용은 여기를 참조하십시오 (PDF)

구리 합금제 ICF 플랜지

특징

• 완전 비자성, 열전도성 양호, 저 복사율.
• 베이크 없이도 10 ^-8 Pa(10 ^-10 Torr)의 초고진공 달성이 가능.
• 100℃ 저온 베이크로 10 ^-10 Pa(10 ^-12 Torr)의 극고진공 달성이 가능.
• 통상의 무산소동에서도 10 ^-11 Pa·m ³ /sec·m ² 이 가능.
• 표면 처리는 NiP 처리를 실시해 산화 및 씰면의 보호를 실시하고 있습니다.

• 자세한 내용은 여기를 참조하십시오 (PDF)

CrN 표면 처리 ICF 플랜지 타입 6 방관 및 큐브(알루미늄 합금)

특징

• 150℃의 저온 베이킹 처리로 스테인리스강을 웃도는 낮은 가스 방출율 10 ^-11 Pa·m ³ /sec·m ² (10 ^-13 Torr·l/sec·cm ² )가 가능.
• 무게가 매우 가볍습니다 (스테인레스 스틸의 1/3).
• 플랜지의 밀봉면은 고경도의 CrN(이온 플레이팅)으로 보호된다.
• 플랜지 부재질은 A2219를 사용. (고경도, 내열 합금).

• 자세한 내용은 여기를 참조하십시오 (PDF)

초고·극고진공용 ICF 플랜지 타입 6방관 및 큐브(동합금제)

특징

• 완전 비자성, 열전도성 양호, 저 복사율.
• 베이크 없이도 10 ^-8 Pa(10 ^-10 Torr)의 초고진공 달성이 가능.
• 100℃ 저온 베이크로 10 ^-10 Pa(10 ^-12 Torr)의 극고진공 달성이 가능.
• 플랜지 부재질은 CrCu 또는 BeCu를 사용.
• 표면 처리는 NiP 처리를 실시해 산화 및 씰면의 보호를 실시하고 있습니다.

• 자세한 내용은 여기를 참조하십시오 (PDF)

ICF 플랜지용 개스킷(알루미늄, 구리 합금, 스테인리스용)

특징

• 플랜지 재질에 따라 개스킷 재료를 선택하십시오.

  Al-ICF 플랜지	⇒	Al 개스킷
  SUS-ICF 플랜지	⇒	Cu 개스킷 Ag 코트 Cu 개스킷
  Cu-ICF 플랜지

• 클린 패키지이므로 사용시 개봉하십시오.

• 자세한 내용은 여기를 참조하십시오 (PDF)

Al 플랜지 장착용 볼트, 너트, 와셔

특징

• 알루미늄 플랜지의 설치용으로 사용해 주십시오.
• 완전 비자성.
• 경량.

재질 및 처리

• 자세한 내용은 여기를 참조하십시오 (PDF)
• 폐사제 ICF-AL제 플랜지용 체결 토크표(참고값)는 이쪽(PDF)