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FED 평가 장치 / 접어식 기판 반송 시스템

FED 평가 장치의 특징

본 장치는 Field Emission Display(FED)용 형광 특성 검사를 실시할 목적으로 개발된 FED 형광 패널 종합 검사 장치입니다. 진공조 내에서 FED 형광 패널에 전자빔을 조사함으로써 형광체를 실제로 발광시켜 형광 패널의 발광 특성의 계측을 실시합니다. 본 장치에서 FED 형광 패널의 개발에서 양산 검사에 이르는 모든 용도의 요구에 부응합니다.

특징

• 간단한 구조로 로드록 시스템을 실현.
• 프로세스측의 전달용 구동축이 불필요.
• 프로세스측의 형상이나, 기판의 형상을 선택하지 않고 제작이 가능.
• 모터를 장착한 자동 운전 타입도 제작 가능.

• FED 평가 장치의 자세한 것은 이쪽을 봐 주세요(PDF)
• 아오리식 기판 반송 시스템의 자세한 것은 이쪽을 봐 주세요(PDF)