구리 합금제 챔버 > 모터/펌프

구리 합금제 챔버

전자빔 챔버

극고진공용 구형 챔버

특징

• 10 ^-12 Pa·m ³ /sec·m ² 대의 초저가스 방출율.
• 베이크 없이도 10 ^-8 Pa의 초고진공 달성이 가능.
• 100℃의 저온 베이크로 10 ^-10 Pa의 극고진공이 가능.
• 완전 비자성, 열전도성 양호, 저 복사율이라는 구리의 특성을 살린다.
• 버진 챔버에서 시작 시간이 매우 짧습니다.

• 자세한 내용은 여기를 참조하십시오 (PDF)