알루미늄 합금 챔버 > 모터/펌프

알루미늄 합금 챔버

진공 동작 내구 시험기

광학 시험 장비

CVD 장치 수송실

MBE 장비

초고진공 복합 표면 해석
장치(납입처:
도호쿠 대학 통신 연구소)

박막 제작 장치

초고진공 증착 장치
(납품처:도호쿠 대학 전기
통신연구소)

특징

• 150℃의 저온 베이크로 스테인리스강을 웃도는 낮은 가스 방출율 10 ^-11 Pa・m ³ /sec・m ² 가 가능.
• 경량. (스테인리스강의 약 1/3)
• 완전 비자성도 가능.
• 진공면에 EL 가공 등을 실시함으로써 초고·극고 진공 대응도 가능.
• 버진 챔버에서 시작 시간이 짧습니다. (스테인리스의 1/2)
• 열전도가 좋기 때문에 내부의 온도 균일화가 가능.

• 자세한 내용은 여기를 참조하십시오 (PDF)