MUSASHINO ENG 저온 스테이지
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극저온 스테이지
개요
초고진공 환경 하에서 본 스테이지는 중앙 공간부에 냉동기가 장착되어 있어 4K 가까이까지 시료가 냉각됩니다.
또, 시료의 위치 조정은 모터에 의해 X, Y, Z, θ(면내 회전)의 이동을 미크론 단위로 실시할 수 있습니다.
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모터/펌프
- 상호 : 네오닉스시스템
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