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진공 환경 시험 장비

개요

본 장치는 알루미늄 합금제로 저온 베이킹으로 초고진공을 얻을 수 있도록 되어 있습니다.
이 환경하에 있어서, 동작 내구 시험, 가열 및 냉각의 시험, 동작 정밀도의 확인, 동작시의 파티클의 측정, 방출 가스 분압 측정을 실시할 수 있는 기구가 되고 있습니다.

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