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진공용 압착 단자

특징

• 진공용 특수 세정을 실시해, 밀봉하고 있으므로 진공용으로서 곧바로 사용 가능합니다.
• 로우 부착부가 없고, 가스 방출이 매우 적어지고 있습니다.
• 금도금품은 내식성이 우수합니다.
• 일반 압착 공구에서 사용할 수 있습니다.
• 옵션으로 진공 탈가스 처리도 가능합니다. (10 ^-6 Pa대 처리)

• 자세한 내용은 여기를 참조하십시오 (PDF)

초고진공용 셔터 기구

특징

• 본체는 알루미늄 합금제로 경량.
• 알루미늄 플랜지 타입은 ICF 규격으로 경면 가공 후 이온 플레이팅 처리되고 있다.
• 초고진공 대응의 사양.
• 셔터를 닫았을 때의 스키간은 거의 없음.
• 셔터의 개폐는 나비 방식을 채용.

• 자세한 내용은 여기를 참조하십시오 (PDF)

진공용 솔레노이드

특징

• 10 ^-6 Pa대의 진공에 대응. 옵션으로는 10 ^-8 Pa대의 초고진공 대응도 가능.
• 로터리 타입과 푸시 타입, 풀 타입의 3 종류를 준비.
• 완전 오일 프리.
• 스위치의 ON-OFF만으로 제어 가능. 기존과 같은 복잡한 프로그래민은 필요하지 않습니다.
• 시퀀서와의 조합으로 자동 운전도 가능.
• 옵션으로 진공 대응 래칫 기구에 의한 각도 인덱싱반도 준비.
• 이동량, 토크 등 사용에 맞게 설계 제작 가능합니다.

• 자세한 내용은 여기를 참조하십시오 (PDF)