MUSASHINO ENG 초고진공용 미조 위치 결정 유닛
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초고진공용 미조 위치 결정 유닛
특징
- 4축 조정(X, Y, Z, 틸트)이 가능.
- 대기측에서 시료 도입기의 미세 조정이 용이.
- 초고진공 대응의 사양.
- 케이스는, 알루미늄 합금제.
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모터/펌프
- 상호 : 네오닉스시스템
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