MUSASHINO ENG 공용 위탁 분석
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공용 위탁 분석
특징
- 각종 부품이나 유닛의 진공 특성을 분석합니다.
- 부품 1개의 분석에서 양산품의 분석까지 대응합니다.
- 초고진공 장치를 자랑으로 하는 당사가 보증하는, 실적과 신뢰가 있는 데이터를 전달하겠습니다.
He 누출 시험
진 헬륨 가스를 사용하여 진공 용기에 대한 일반적인 누설 시험을 실시합니다.
| 측정방법 | 송풍법, 후드법, 스니퍼법 |
| 측정 범위 | 10 -12 Pa·m 3 /sec대까지 |
가스 방출율 측정
전용 챔버에서 샘플의 단위 면적당 가스 방출 속도를 측정합니다.
진공내의 도달 진공도나 가스량이 문제가 되는 경우의 백 데이터로서 이용해 주십시오.
특별 주문으로, 챔버 본체 등의 가스 방출율 측정도 할 수 있습니다.
| 측정방법 | 처리량 방법 |
| 배경 압력 | 10 -8 Pa까지 |
| 측정 가능한 샘플 크기 | 80×80×20(mm)까지(통상 금액의 경우) |
분압 측정
전용 챔버에서, 샘플로부터의 방출 가스의 성분 분석을 실시합니다.
진공 내에서 특정 가스 성분의 방출이 문제가되는 경우 등의 백 데이터로 이용하십시오.
특별 주문으로 하자, 챔버 본체 등의 분압 측정도 할 수 있습니다.
| 측정 장비 | 사중극형 질량분석기 |
| 질량수 범위 | 1~200AMU |
그 외, 빌트업법에 의한 가스 방출율 측정이나, AES, SEM, TEM 등의 표면 분석도 실시할 수 있습니다. 무엇이든, 문의하십시오.
※시험품 및 보고서는 지정 장소에 납입하겠습니다만, 포장비・운송비를 별도로 받는 경우도 있습니다.
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