MUSASHINO ENG INTELLIGENT CLUSTER
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INTELLIGENT CLUSTER
특징
- 반송 정밀도, 초고진공 환경 등의 향상을 목표로 한 SMART CLUSTER의 자매기 모델
- 고객의 요구에 맞춘 충실한 라인업
제품 예
■MCT-270SQ
- φ200mm용 반송 시스템
- 카세트 로드록
- 7각형 반송실
- 단일 핸드 로봇
■MCT-280
- φ200mm용 반송 시스템
- 카세트 로드록
- 8각형 반송실
- 단일 핸드 로봇
- 진공 안테나
■MCT-360
- φ300mm용 반송 시스템
- 매엽 로드록
- 6각형 반송실
- 더블 핸드 로봇
- 진공 안테나
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