특징
이 진공 펌프는 고진공이 필요할 때 사용되며 10-5Pa를 저렴하게 얻을 수 있습니다. 노즐에서 분사된 고온 확산 오일에 의해 생성된 초음속 제트 제트기는 오일을 고진공 범위로 배출합니다. 단독으로 작동 할 수 없으며 오일 로터리 진공 펌프가 백 펌프로 함께 사용됩니다. 배기 세트를 결합한 제품은 진공 시스템의 고진공 배기 시스템을 참조하십시오.
사양
| 모델 | 펌핑 속도 | 극한의 압력*2 | 오일 백플로우 | 유량
| 힘 | 전력 | 시작 시간 | 물 요구 사항 | 임계 배압 | 미사 |
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| (1.3×10-3Pa에서) |
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L/sec
| 파 | mg/cm2min | mL | V/φ | W | min | L/min
| Pa
| kg |
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| 無/有 | 배플 없음 / 수냉식 배플 포함 |
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| SDP-2 | 125/58 | ×10-5 | ×10-2/×10-4 | 50 | 100/1 | 0.33 | 15 | 0.5 | 20 | 4 |
|---|
| SDP-2A*1 | 58 | 7.5×10-4 | 4.7 |
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| SDP-3 | 280/150 | ×10-2/×10-4 | 100 | 100/1 | 0.5 | 20 | 1.0 | 6 |
|---|
| SDP-3A*1 | 150 | 7.5×10-4 | 7.5 |
|---|
| SDP-4 | 380/215 | ×10-2/×10-4 | 150 | 100/1 | 0.7 | 20 | 1.5 | 8 |
|---|
| SDP-4A*1 | 215 | 7.5×10-4 | 10 |
|---|
| SDP-6 | 810/465 | ×10-2/×10-4 | 340 | 200/1 | 1.0 | 20 | 3.0 | 15 | 20 |
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| SDP-8 | 1450/790 | ×10-2/×10-4 | 500 | 200/1 | 1.4 | 25 | 4.0 | 30 |
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| SDP-10 | 2070/1200 | ×10-2/×10-4 | 820 | 200/1 | 1.9 | 25 | 5.0 | 41 |
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| SDP-14 | 3600/2350 | ×10-2/×10-4 | 1600 | 200/3 | 4.5 | 30 | 7.0 | 120 |
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*1 SDP-2A, SDP-3A 및 SDP-4A는 공냉식입니다.
*2 유압 오일 사용: 라이온 S
