MUSASHINO ENG 마그네틱 커플 링 매니퓰레이터 시리즈
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마그네틱 커플 링 매니퓰레이터 시리즈
특징
- 자기 결합식의 씰 방법을 채용하면서 초고진공 대응.
- 고전달 토크에 대응 가능.
- 베이킹 가능(150°C)
- 복잡한 축 구성에도 설계 제작으로 유연하게 대응 가능.
| 2축 회전·직선 도입기 | 2축 회전 도입기 | |
|---|---|---|
| 장착 플랜지 | ICF114 | ICF114 |
| 사용 진공도 | 10 -7 Pa대 | 10 -8 Pa대 |
| 누설량 | 1×10 -11 Pa・m 3 /sec 이하 | 1×10 -11 Pa・m 3 /sec 이하 |
| 허용가열온도 | 150℃ | 150℃ |
| 샘플 중량 | 1kg | 30kg(회전축 중심에 하중) |
| 이너축 회전량 | 360°프리 | 360°프리 |
| 내부 축 회전 정밀도 | ±0.5° | ±0.5° |
| 내부 축 전달 토크 | 0.39N·m | 9.8N·m |
| 아우터축 회전량 | 360°프리 | 360°프리 |
| 아우터 축 회전 정밀도 | ±0.5° | ±0.5° |
| 아우터 축 전달 토크 | 0.39N·m | 9.8N·m |
| 최소 판독 눈금 | 1° | 0.5° |
| 직선 이동량 | 750mm | - |
| 용도 | 시료 반송용 | 자공전 지그 |
| 설치 방법 | 측면 | 윗면 |
| 구동 방법 | 표준: 수동 | 표준: 수동 |
| 옵션: 자동 | 옵션: 자동 |
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