맞춤형 매니퓰레이터 > 모터/펌프

맞춤형 매니퓰레이터

■초고진공용 3축 매니퓰레이터

축 구성

1. Z축 방향 선형
2. Z축 중심 회전
3. Z축 중심 회전

■초고진공용 5축 매니퓰레이터

축 구성

1. X축 방향 선형
2. Y축 방향 선형
3. Z축 방향 선형
4. Z축 중심 회전
5. 아오리

■LN2 냉각 부착 5축 매니퓰레이터

축 구성

1. X축 방향 선형
2. Y축 방향 선형
3. Z축 방향 선형
4. X축 중심 회전
5. Z축 중심 회전

■100kg 내하중 Z축 스테이지

축 구성

1. Z축 방향 선형

■초고진공용 반송 로봇 1

축 구성

1. 극좌표(회전,X축방향 리니어)
2. Z축 방향 선형

■초고진공용 반송 로봇 2

축 구성

1. 극좌표(회전,X축방향 리니어)

• 자세한 내용은 여기를 참조하십시오 (PDF)