KONSEI 매엽형 웨이퍼 핸드 WHA・WHF 시리즈
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웨이퍼·액정 핸드
매엽형 웨이퍼 핸드 WHA・WHF 시리즈
WHA·WHF
고객의 사양에 맞게 설계 제작합니다.
실적 풍부, 우선 문의 바랍니다.
가장자리 클램프이기 때문에 앞면과 접촉하지 않습니다.
형식표시방법
사양
형식 | WHA-200AS | WHA-300AS | WHA-450AS | WHF-200AS | WHF-300AS | |
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반송 워크 | 웨이퍼 | |||||
작업 크기 | φ200 | φ300 | φ450 | φ200 | φ300 | |
반송 방식 | 가장자리 클램프 | |||||
반송 매수 | 1장 | |||||
구동 방식 | 폐방향 | 스프링(클램프 방식) | ||||
개방 방향 | 진공압 -60~-95kPa(부압 실린더 채용) | |||||
동작 스트로크 | 10mm(클램프 7mm, 클램프 대 3mm) | |||||
파지력 | 3.5N | 약 7N | 2.4~1.9N | |||
청정도 | FED 규격 클래스 1(흡인 요) | |||||
포크 재질 | CFRP | |||||
조각, 임시 받침대, 패드 | PEEK | |||||
본체 질량 | 약 0.55kg | 약 0.85kg | 약 1.7kg | 약 1.2kg | 약 1.7kg | |
옵션 | 개폐 확인 센서 |
깨끗한 포장은하고 있지 않습니다.
다운로드
카탈로그(사양서・치수도)
카탈로그 다운로드형식 규격 | 옵션 | DXF 데이터 | STEP, IGES 데이터 |
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옵션 사양 세부 사항
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