KOFLOC 표시기 부착 디지털 매스 플로우 미터 EXE-FLOW™ MODEL EX-700R SERIES
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매스 플로우 컨트롤러 / 미터
매스플로우 컨트롤러/미터는 기계적인 플로우 미터나 밸브에 비해 질량 유량 계측이기 때문에 온도나 압력의 영향을 받기 어렵고, 또한 유량을 전기 신호로 교환할 수 있는 특징이 있습니다. 정밀도, 재현성, 응답성, 비용이 요구되는, 반도체, 광섬유, 분석, 연료 전지, 액정, 유기 EL, 바이오, 식품, 환경 계측, 연소 가스 제어, 공장 설비, 실험 설비 등의 모든 프로세스, 장치 에서 사용되고 있습니다.
매스 플로우 컨트롤러 / 미터 제품 목록
표시기 부착 디지털 매스 플로우 미터
EXE-FLOW™ MODEL EX-700R SERIES
■대상 유체：기체 N₂(Air, H₂, He, Ar, O₂, CO₂, CH₄/CF 전환)
■최대 유량: 기체 10SCCM~500SLM
■정밀도:±1~1.5%FS
- 표시기 일체형으로 각종 기능 사용 가능(순시/적산 유량 표시, 가스종 전환, CF 임의 설정, 알람 설정, 교정 온도 전환 외)
- RS485 통신 기능 있음, 아날로그 출력 4-20mA 있음(0-5VDC/1-5VDC로 변경 가능), 적산 펄스 출력 있음
- 니들 밸브 있어 사양이면 유량의 제어도 가능
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