Anritsu Meter 온도 센서 > AW 시리즈_제품 정보
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AW시리즈는 반도체 제조 장치의 개발·프로세스 조건출이나 온도 분포 계측에 필수 불가결한 “열전대 부착 실리콘 웨이퍼”입니다.
「커스터마이즈」를 클릭하는 것으로 웨이퍼 사이즈・열전대 센서 점수・열전대 절연 피복 종류 등의 항목을 자유롭게 조합할 수 있습니다. 또, 특주품의 대응도 가능합니다.
| 형명 *1 | AW-***KT | AW-***KA | AW-***KS | |
| 열전대종 | 유형 K | |||
| 사용 온도 범위 *2 | 0~260℃ | 0~500℃ | 0~500℃ | |
공차 _ | 0℃ 이상 100℃ 이하 | ±2.5℃ | ±2.5℃ | ±2.5℃ |
| 100℃ 초과 200℃ 이하 | ±2.5℃ | ±5.0℃ | ±5.0℃ | |
| 200℃ 초과 300℃ 이하 | ±2.5℃ (260℃ 이하) | ±6.0℃ | ±6.0℃ | |
| 300℃ 초과 400℃ 이하 | — | ±7.0℃ | ±7.0℃ | |
| 400℃ 초과 500℃ 이하 | — | ±8.0℃ | ±8.0℃ | |
| 성적서 시험점 | 100, 150, 200, 250℃ | 100, 200, 300, 400, 490℃ | ||
| 웨이퍼 사이즈 | 5, 8, 12인치 | |||
| 열전대 소선 직경 | φ0.13mm | |||
| 열전대 절연 피복 재질 | 테플론 | 알루미나 섬유 슬리브 | 석영관 | |
| 일반(메이커) 교정의 온도 범위 *3 | 50~250℃ | 50~490℃ | 50~490℃ | |
| JCSS 교정 온도 범위 *4 | 본 제품은 JCSS 교정을 실시하지 않습니다. | |||
| 수리 *5 | 수리 가능 | |||
*1 형명의 *에는 형명 선택할 수 있는 숫자가 들어갑니다.
*2 사용 온도 범위는 웨이퍼나 절연 피복부의 사용 온도 범위이며, 그 이외에는 적용되지 않으므로 주의해 주십시오.
*3 일반(메이커) 교정은 유상입니다. 자세한 것은 일반(메이커) 교정의 페이지를 봐 주세요.
*4 본 제품은 JCSS 교정을 실시하지 않습니다. JCSS 교정에 대한 자세한 내용은 JCSS 교정 페이지를 참조하십시오.
*5 자세한 내용은 수리 페이지를 참조하십시오.
| 품목 | 형명 기호 | 사양 개요 |
| 1 웨이퍼 사이즈 | 05 | 5인치 |
| 08 | 8인치 | |
| 12 | 12인치 | |
| 2 열전대 센서 점수 | 01 | 1점 |
| 05 | 5점 | |
| 09 | 9점 | |
| 3 절연 피복 재질 | T | 테플론 |
| A | 알루미나 섬유 슬리브 | |
| S | 석영관 | |
| 4 코드 길이 | 1 | 1m |
| 1.5 | 1.5m | |
| 2 | 2.5m | |
| 2.5 | 2.5m | |
| … | … | |
| 5 플러그 모양 | ASP | 표준 플러그 (열전대 동종 금속) |
| ANP | 미니 플러그 (열전대 동종 금속) | |
| W | 자르지 않음 | |
| WT3 | Y 단자 M3용(일반 전극재) | |
| WT4 | Y 단자 M4용(일반 전극재) | |
| WT5 | Y단자 M5용(일반 전극재) | |
| WC3 | 원형 구멍 단자 M3용(일반 전극재) | |
| WC4 | 원형 구멍 단자 M4용(일반 전극재) | |
| WC5 | 원형 구멍 단자 M5용(일반 전극재) | |
| ANJY3 | Y 단자 M3용(열전대 동종 금속) | |
| ANJY4 | Y 단자 M4용(열전대 동종 금속) | |
| ANJC3 | 둥근 구멍 단자 M3용(열전대 동종 금속) | |
| ANJC4 | 둥근 구멍 단자 M4용(열전대 동종 금속) | |
| WA | 바나나 단자(일반 전극재) |
타입 K의 경우 AW-0505K-A-TS1-ANP
- 사용온도범위
- 0~500℃
- 공차
- 0℃ 이상 100℃ 이하:±2.5℃
100℃ 초과 200℃ 이하:
±5.0℃
200℃
초과 300℃ 이하:±6.0℃
- 내구성
- 구조가 특별하기 때문에 평가 없음
- 성적서 시험점(부속품)
- 100,200,300,400,490℃
- 센서 점수
- 5점
- 코드의 종류와 길이
- 타입 K의 경우 : TS-K 코드1m
- 플러그 모양
- 타입 K의 경우 : ANP-KM
- 일반 (메이커) 교정 온도 범위
- 50~490℃
- JCSS 교정 온도 범위
- 본 제품은 JCSS 교정을 실시하지 않습니다.
- 수리
- 수리할 수 있습니다.
- 제작 납기
- 약 3주간(수주 생산품)
* 사용 온도 범위는 웨이퍼나 절연 피복부의 사용 온도 범위이며, 그 이외에는 적용되지 않으므로 주의해 주십시오.
* 허용차는, 전용 교정기(대기중)에 있어서의 사용 온도 범위에 있어서 규정하고 있습니다.
* 본 제품은 구조가 특수하기 때문에 평가가 없는 제품입니다.
* 일반(메이커) 교정은 유상입니다.
* 본 제품은 JCSS 교정을 실시하지 않습니다.
* 공정의 형편상, 기재보다 제작 납기가 걸리는 경우가 있기 때문에 기준이라고 생각해 주세요.
* 가격 등 불명점이 있으면 문의하십시오.
타입 K의 경우 AW-0505K-S-TS1-ANP
- 사용온도범위
- 0~500℃
- 공차
- 0℃ 이상 100℃ 이하:±2.5℃
100℃ 초과 200℃ 이하:
±5.0℃
200℃
초과 300℃ 이하:±6.0℃
- 내구성
- 구조가 특별하기 때문에 평가 없음
- 성적서 시험점(부속품)
- 100,200,300,400,490℃
- 센서 점수
- 5점
- 코드의 종류와 길이
- 타입 K의 경우 : TS-K 코드 1m
- 플러그 모양
- 타입 K의 경우 : ANP-KM
- 일반 (메이커) 교정 온도 범위
- 50~490℃
- JCSS 교정 온도 범위
- 본 제품은 JCSS 교정을 실시하지 않습니다.
- 제작 납기
- 약 3주간(수주 생산품)
* 사용 온도 범위는 웨이퍼나 절연 피복부의 사용 온도 범위이며, 그 이외에는 적용되지 않으므로 주의해 주십시오.
* 허용차는, 전용 교정기(대기중)에 있어서의 사용 온도 범위에 있어서 규정하고 있습니다.
* 본 제품은 구조가 특수하기 때문에 평가가 없는 제품입니다.
* 일반(메이커) 교정은 유상입니다.
* 본 제품은 JCSS 교정을 실시하지 않습니다.
* 공정의 형편상, 기재보다 제작 납기가 걸리는 경우가 있기 때문에 기준이라고 생각해 주세요.
* 가격 등 불명점이 있으면 문의하십시오.
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