SATO VAC 진공 증착 장비 <HSV> 시리즈
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진공 증착 장비 <HSV> 시리즈
■이 시리즈는 R&D 및 소규모 로트 생산을 위한 저항 가열식 콤팩트 증착 장비입니다. 또한이 시리즈의 일부 모델에는 전자 빔 (EB)이 장착 될 수 있습니다.
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주요 명세
| 모델 | HSV-3-30G | HSV-8-50 | HSV-12-80 | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 궁극의 압력 | ×10-3Pa | ×10-4Pa | |||
| 기판 가열 온도 | - | Max 300°C | |||
| 증발원(전극) | 2 대 10V Max150A | 2대 20V Max200A | |||
| 밸브 작동 | 수동 | 자동 번역 | 수동 | 자동 번역 | 수동 |
| 진공 약실 | φ300×H300mm 투명 유리 | φ500×H500mm (수냉식) SUS 304 | φ800 × H700mm (수냉식) / 전면 도어 타입 SUS 304 | ||
| 터닝 메커니즘 | - | 혁명 메커니즘 | 회전 메커니즘 | ||
| 내부 메커니즘 | 셔터 메커니즘, 저항 가열 메커니즘 | 셔터 기구, 가열 히터, 저항 가열 기구 | |||
| 메인 펌프 | 기름 확산 3inches | 기름 확산 8inches | 기름 확산 12inches 또는 냉동 | ||
| 보조 펌프 | 150L/min | 500L/min | 1500L/min | ||
| 메인 밸브 | 3inches | 8inches | 12inches | ||
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