SATO VAC R&D 롤 코터 <SRC-100V>
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R&D 롤 코터 <SRC-100V>
■R&D 및 소규모 로트 생산에 적합한 콤팩트하고 고성능 롤 코터. 플라즈마 처리, 스퍼터링 및 기상 증착 장치가 있습니다.
주요 명세
| 도달 압력 | ×10‒5 Pa |
|---|---|
| 진공 게이지 | BA 게이지, 커패시턴스 압력계 |
| 공작물 크기 | W100mm × L200m ×t 50~100um |
| 공급 속도 | 0.2 ~ 4m / 분 (CW / CCW 가능) |
| 진공 약실 | SUS304 W500×H850×D450mm |
| 압연 옥수수 | φ250 수냉식 |
| 샤프트 씰 | 마그네틱 씰 사용 |
| 사전 증착 플라즈마 처리 | 13.56MHz RF 전극 ×1 |
| 증발원 | (1) 70×200 DC 마그네트론 유형 최대 × 2 (2) 저항 증발원 |
| 메인 펌프 | TMP 1100L/s |
| 수분 배출 | CRYO 슈퍼 트랩 |
| 프로세스 가스 | Ar, O2,N2, 질량 유량 제어기 |
| 바닥 면적 | 4㎡ |
| 유틸리티 | ・AC200V 3φ100A・냉각수 |
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