SATO VAC R&D 필름 증착 장비 "키트"
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R&D 필름 증착 장비 "키트"
■연구 개발 응용을 위한 진공 증착 장비의 단위를 판매하고 있습니다. 저렴한 비용으로 스퍼터링, 기상 증착 장비, 플라즈마 처리 장비 (표면 개질, 유기물 제거 등)를 찾는 사람들에게 이상적입니다. 이것은 연구 개발에 필요한만큼만 구입할 수있는 필름 형성 장비 "키트"입니다.
적용 예
| 초친수성 | 산화 티타늄의 광촉매 막 |
|---|---|
| 항 산화 | 반도체 접점에 증착된 금 필름 |
| ＭＥＭＳ | 필름 형성 및 에칭을 통한 미세 구조 만들기 |
| 미세자기 기록 | 초박형 요크는 마그네틱 헤드에 고투과성 자기 필름으로 형성됩니다. |
| 사용된 희귀 금속의 감소 | 표면에만 촉매를위한 백금의 증착 |
| 전자기 차폐 | 가볍고 컴팩트한 필름 |
| 열 헤드의 발열체 | 박막으로 미세 발열 부품 제작 |
| 투명 전도성 필름 | 평면 패널 디스플레이 등 |
| 조명기구용 반사판 | LED 케이스 |
| 다양한 광학 필터 | CCD를 위한 적외선 컷 및 프로젝터 광원을 위한 분광 필터 |
| 반사 방지 막 | 안경과 카메라용 렌즈 코팅 |
| 장식 | 화장품 용기 및 가전 제품과 같은 플라스틱에 금속을 진공 도금 |
| 정전기 손상 방지, 전자기파 전송 | 휴대 전화 및 가전 제품의 주택 장식 (불연속, 금속 색상, 전기 없음) |
| 가시광선 반사 및 적외선 광 전송 | 할로겐 램프 찬 거울 |
| 수소 센서 | 수소 흡수에 의한 광 투과율의 변화에 의해 검출 |
필름 증착 장비 "키트"의 개요
- 챔버 유닛: 챔버, 게이트 밸브, 스퍼터 소스(또는 증착 또는 플라즈마 소스), 뷰포트, 샘플 스테이지(옵션: 가열 또는 냉각, RF 애플리케이션)
- 배기 세트 : 오일 로터리 펌프, 터보 분자 펌프 (또는 오일 확산 펌프 + 밸브), 마운트 등
- 진공 배관 : (게이지 포트, 벤트 밸브, 가스 입구 포함)
- 진공 게이지 1 : 피라니 진공 게이지
- 진공 게이지 2 : 뜨거운 음극 이온화 진공 게이지 (B-A 게이지)
- 진공 게이지 3 : 다이어프램 진공 게이지
- 전원 공급 장치 : 스패터 용 DC 전원 공급 장치 (또는 스패터 + 매칭 박스 또는 저항 가열 기상 증착 전원 공급 장치 용 RF 전원 공급 장치)
- 가스 도입 장치 : 질량 유량 컨트롤러 (또는 바늘 밸브 세트)
- 샘플 수송 로봇(수동)
- 짐 자물쇠 및 수송 방: (4 또는 6개의 약실을 위한 약실 설치 표면) 뚜껑, 황삭 벨브, 통풍 벨브, 산
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