SATO VAC 진공 열처리로 (소입, 연소, 어닐링)
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진공 열처리로 (소입, 연소, 어닐링)
고온 진공 열처리로 <VHF> 시리즈
■다양한 경험과 기술로 고객의 응용에 맞는 다양한 진공로를 제공합니다.
수평한 내부 난방 VHF-I.-H | 수직 내부 가열 VHF-I.-V | 수평한 외부 난방 VHF-E-H |
진공로의 종류와 구조
진공 분위기에서 가열하는 장비는 히터 재료, 온도 제어 센서, 컨테이너 구조 및 재료와 같은 온도 범위에 따라 다릅니다.
유형별 분류
| 유형 I. 내부 열 및 탄소 | 유형 II : 내부 열, 금속 등 | 유형 III. 외부 열 | |
|---|---|---|---|
| 모델 | VHF-I.(C) | VHF-I.(M) | VHF-E |
| 가열 온도 범위 | 초고온, 고온 (1), 고온 (2) 700 ~ 2300 °C | 초고온, 고온 (1) 1000~2300°C | 고온 (1), 고온 (2) 700 ~ 1600 °C |
| 히터 재료 | 경질 탄소 | 금속 히터 (텅스텐, 몰리브덴, 탄화 규소) | 금속 히터 (캔탈 와이어, 실리콘 카바이드) |
| 콘테이너 물자 | 스테인레스 스틸 : SUS304 (수냉 재킷 포함) | 스테인레스 스틸 : SUS304 (수냉 재킷 포함) | 용광로 코어 튜브 : 알루미나 튜브 (~ 1600 °C), 석영 유리 튜브 (~ 1200 °C) |
| 구조 |  |  |  |
히터 재료는 탄소 (유형 I) 및 금속 (유형 II)으로 제공됩니다. 탄소 기반 히터는 비용이 저렴하지만 미세 분말을 생성하므로 청결이 필요한 경우 금속 기반 히터를 사용합니다. 또한, 고온 범위(2)에서, 온도가 고온 범위에서도 상대적으로 낮은 경우, 히터 재료(Type III)에 따라 저가의 캔탈 와이어 또는 탄화물 실리카 재료가 사용될 수 있다.
가열 영역의 온도가 초고온 및 고온 (1)에서 높기 때문에, 안전성의 관점에서, 용기는 종종 이중 구조를 가진 수냉식 재킷 타입 (타입 I 및 II)이고 재료는 스테인레스 스틸이다.
더 작은 것들의 경우, 유형 III (튜브 퍼니스) 모양도 선택할 수 있습니다. 용기 재료는 알루미나 튜브 또는 석영 유리 튜브이며 유효 영역은 원통형입니다.
온도 범위 및 구성
| 분류 | 가열 온도 | 제어 센서 | 히터 재질 (가열 방법) |
|---|---|---|---|
| 초고온 | 1400~2300°C | 방사선 온도계 | 탄소 히터, 금속 히터 (W, Mo) * 1 |
| 고온 (1) | 1000~1500°C | 플래티넘 하이드로커플 (S, R, B) | 탄소 히터, 금속 히터 (Mo, SiC) * 1 |
| 고온(2) | 700~1100°C | 크로멜로 아르멜 열전대 (K 타입) | 칸탈선 히터 |
*1) Mo: 몰리브덴 W: 텅스텐 SiC: 탄화규소
초고온 영역에서는 고온으로 가열된 영역에 센서를 삽입하여 온도를 측정할 수 없으므로 방사선 온도계가 사용됩니다. 고온 범위에서 K 형 열전대 (alumel-chromel)를 700 ° C ~ 1100 ° C (고온 (2)) 범위의 가열 영역에 삽입하고 1000 ° C ~ 1500 ° C (고온 (1))의 범위에서 S, R, B 형 (백금 - 백금 로듐 합금)을 가열 영역에 삽입하여 온도를 측정합니다.
냉각
자연 냉각, 가스 냉각, 오일 냉각 등 두 가지 냉각 방법이 있습니다. 짧은 시간에 식히고 싶다면 별도의 냉각 챔버를 설치할 수 있습니다.
진공로 배기 시스템
진공로의 목적과 압력 범위에 따라 진공 펌프 구성을 선택하십시오. 청결이 필요한 경우, 우리는 건식 펌프, 건식 펌프 + 터보 분자 펌프 또는 냉동 펌프를 선택합니다.
압력 범위 (진공 정도) 및 진공 펌프
| 압력(Pa)* | 진공 펌프 |
|---|---|
| 분위기~3.0 | 오일 로터리 펌프 |
| 분위기~10 | 건식 펌프 |
| 1000～0.4 | メカニカルブースタ＋油回転ポンプ |
| 3～1×10‒3 | 油拡散ポンプ＋油回転ポンプ |
| 200～2×10‒5 | ターボ分子ポンプ＋ドライポンプまたは、ターボ分子ポンプ＋油回転ポンプ |
| 40～10‒7 | クライオポンプ＋ドライポンプまたは、クライオポンプ＋油回転ポンプ |
※) 圧力(真空度)は容器内圧力で、真空ポンプ吸入口圧力より高くなるのは、配管の抵抗と容器内のガス発生による影響です。
운전 작동
장비에 가공 재료를 설정한 후 자동 진공 배기, 온도 상승, 냉각 및 대기압 회수(완전 자동 작동) 또는 각 공정이 개별적으로 작동하는 수동 작동 중에서 선택할 수 있습니다.
가열 온도만 지정해야 하는 경우를 선택하거나 설정 온도 및 온도 상승 시간을 설정하도록 제어를 프로그래밍할 수 있습니다.
PID 제어는 온도 제어에 사용됩니다.
안전 회로 : 히터 과열, 불충분 한 냉각수, 진공 이상 등을 감지하고 히터를 멈추거나 완전히 정지시킵니다.
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