KOFLOC 금속 씰 매스 플로우 컨트롤러 MODEL 5100 시리즈
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5100-1/4VCR 
■대상유체：기체 N₂, Air, H₂, He, Ar, O₂, CO₂ 등
매스 플로우 컨트롤러 / 미터
매스플로우 컨트롤러/미터는 기계적인 플로우 미터나 밸브에 비해 질량 유량 계측이기 때문에 온도나 압력의 영향을 받기 어렵고, 또한 유량을 전기 신호로 교환할 수 있는 특징이 있습니다. 정밀도, 재현성, 응답성, 비용이 요구되는, 반도체, 광섬유, 분석, 연료 전지, 액정, 유기 EL, 바이오, 식품, 환경 계측, 연소 가스 제어, 공장 설비, 실험 설비 등의 모든 프로세스, 장치 에서 사용되고 있습니다.
매스 플로우 컨트롤러 / 미터 제품 목록
금속 씰 매스 플로우 컨트롤러
MODEL 5100 시리즈
■대상유체：기체 N₂, Air, H₂, He, Ar, O₂, CO₂ 등
■최대유량：기체 10SCCM~20SLM
■정도：±1%FS
- 금속 씰
- 미세 유량에 대응 (N₂ 환산으로 FS1SCCM에서)
- 다이어프램 시트 밸브로 데드 볼륨 감소
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