KOFLOC 금속 씰 디지털 질량 흐름 컨트롤러/미터 MODEL EX-550 SERIES
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EX-550C（MFC）
EX-550M（MFM） 
■대상 유체: 기체 N₂, Air, H₂, He, Ar, O₂, CO₂ 등
매스 플로우 컨트롤러 / 미터
매스플로우 컨트롤러/미터는 기계적인 플로우 미터나 밸브에 비해 질량 유량 계측이기 때문에 온도나 압력의 영향을 받기 어렵고, 또한 유량을 전기 신호로 교환할 수 있는 특징이 있습니다. 정밀도, 재현성, 응답성, 비용이 요구되는, 반도체, 광섬유, 분석, 연료 전지, 액정, 유기 EL, 바이오, 식품, 환경 계측, 연소 가스 제어, 공장 설비, 실험 설비 등의 모든 프로세스, 장치 에서 사용되고 있습니다.
매스 플로우 컨트롤러 / 미터 제품 목록
금속 씰 디지털 질량 흐름 컨트롤러/미터
MODEL EX-550 SERIES
■대상 유체: 기체 N₂, Air, H₂, He, Ar, O₂, CO₂ 등
■최대 유량: 기체 10SCCM~5SLM
■정도:±1%SP(25~100
%FS) )
- 금속 씰
- SP 정밀도로 고정밀도의 계측이 가능, 전유량 제어 범위 응답 1sec 이내
- 로터리 스위치에 의한 가스종 전환 가능
- RS485 통신 기능 있음, 아날로그 입출력 0-5VDC/4-20mA 선택 가능, 전원 ±15VDC/24VDC 선택 가능
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