KOFLOC PI 질량 흐름 컨트롤러 MODEL ST-500 시리즈
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매스 플로우 컨트롤러 / 미터
매스플로우 컨트롤러/미터는 기계적인 플로우 미터나 밸브에 비해 질량 유량 계측이기 때문에 온도나 압력의 영향을 받기 어렵고, 또한 유량을 전기 신호로 교환할 수 있는 특징이 있습니다. 정밀도, 재현성, 응답성, 비용이 요구되는, 반도체, 광섬유, 분석, 연료 전지, 액정, 유기 EL, 바이오, 식품, 환경 계측, 연소 가스 제어, 공장 설비, 실험 설비 등의 모든 프로세스, 장치 에서 사용되고 있습니다.
매스 플로우 컨트롤러 / 미터 제품 목록
PI 질량 흐름 컨트롤러
MODEL ST-500 시리즈
■대상 유체：기체
■최대 유량：기체 100SCCM～30SLM
■정도：±1%SP(10～100%FS)
±0.1%FS(2～10%FS)
- PI … Pressure Insensitive
압력 변동에 대해 안정적인 유량 제어가 가능 - 다이어프램식 밸브 채용의 메탈 씰
MFC로, EP 처리 및 산화 피막 처리에 의해
부식성 유체에 대응 - DeviceNet 통신 대응
- W Seal 피팅 대응
- SP 정밀도로 고정밀도의 계측이 가능,
전유량 제어 범위 응답 1sec 이내 - 전용 앱으로 멀티 레인지 기능
첨부파일
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ST-500カタログ.pdf (1.1M)
1회 다운로드 | DATE : 2024-02-08 11:39:06
