SATO VAC 소형 CVD 장비 <SFCV> 시리즈
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소형 CVD 장비 <SFCV> 시리즈
이것은 대학 및 연구 기관에서 그래핀과 같은 탄화수소 화합물에 대한 다양한 재료의 개발에 적합한 튜브 형 고온 열 CVD 장치입니다. 소형화되어 간단한 조작으로 소량 및 소형 시험편을 만들 수 있으며 동시에 상당한 비용 절감이 실현되었습니다.
또한 5 ~ 100Pa의 압력 제어 기능이 장착되어있어 작은 크기로 달성하기 어려워 더 다양한 가공 패턴을 지원할 수 있습니다. Sarako 탄화수소 시스템의 가연성 가스의 경우, 경보 감지 및 대기 배출 가스 희석 장치에 의한 장비 셧다운과 같은 안전 장치를 갖추고 있습니다.
주요 명세
| 용광로 코어 튜브 | 투명한 석영관 (난방 온도 100~1000°C) |
|---|---|
| 알루미나 튜브 (가열 온도 1000 ~ 1400 °C) | |
| 반응 가스 공급 | 2 ~ 60sccm (수소, 메탄, 에탄, 산업용 스티렌, 아세틸렌, 벤젠 등) |
| 압력 제어 | 5~100파 |
| 대기로의 가연성 가스 배출에 대한 조치 | 이젝터에 의해 가연성 혼합 범위 이하의 공기로 희석된 배기 |
장비 구성
| 모델 | SFCV-1001 | SFCV-1003 | SFCV-1501 | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 관상로 | 용광로 코어 튜브 | 재료 | 투명한 석영 관 | 알루미나 튜브 | |
| 내경 | φ24mm, φ50mm | φ24mm | |||
| 가열 온도 | 상용 | 100~1000°C | 500~1400°C | ||
| Max | 1150°C | 1500°C | |||
| 가열 영역 | 1 존 | 3 존 | 1 존 | ||
| 히터 용량 | 1.0kW | 2.4kW | 1.2kW | ||
| 진공 대피 | 오일 회전 진공 펌프 | 펌핑 속도 : 100 ~ 150 L / min | |||
| 가스 공급 | 질량 흐름 컨트롤러 | 유속: 10~100sccm | |||
| 가스 튜브 유량계 | |||||
| 가스 희석 | 공기 이젝터 | 공기 흐름 : 15 Nl/min | |||
| 진공 게이지 | 압력 제어 | 커패시턴스 압력계 : 0.133 ~ 1330Pa, 100Pa ~ 133kPa | |||
| 대기 감압 | 디지털 방식으로 연결: -100kPa~+100kPa | ||||
| 제어 | 온도 조절 | 프로그램 제어 | |||
| 압력 제어 | 밸브 온/오프 제어 | ||||
| 조작판 | 장치 스위치, 프로그램 온도 컨트롤러, 진공 게이지 디스플레이: 온도, 진공도, 작동 장치 ON/OFF, 알람, 전원 공급 장치 | ||||
| 전원 | 단상 | 100V・30A | 100V・50A | 200V・20A | |
| 외부 치수 | W×D×H | 1450×500×1200mm | |||
| 질량 | 125kg | 134kg | 128kg | ||
계통도
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