SATO VAC 고진공 대피 시스템<TPS/DPS> 시리즈
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고진공 대피 시스템<TPS/DPS> 시리즈
- ■이 시스템은 터보 분자 펌프와 오일 확산 펌프의 두 가지 유형으로 제공되며, 오일 회전 및 드라이 펌프는 보조 펌프로 제공되므로 고객의 요구에 맞는 고진공 배기 시스템을 선택할 수 있습니다.
터보 분자 펌프 배기 시스템 <TPS> 유형  | 오일 확산 펌프 배기 시스템 <DPS> 유형  |
특 징
■고진공에서의 다양한 실험, 개발 및 생산 공정과 호환됩니다.
■공랭식 타입은 수도배관의 필요성을 없애고 유지보수 부담을 줄여줍니다.
■어디서나 100V 전원 공급 장치.
■알루미늄은 무게를 줄이기 위해 메인프레임 베이스에 사용됩니다.
■사용 편의성을 위한 컴팩트한 디자인.
터보 분자 펌프 배기 시스템 <TPS> 유형
● 보조 펌프는 다이어프램 형 건식 진공 펌프 또는 스크롤 형 건식 진공 펌프와 결합하여 완전한 건식 배기 시스템을 실현할 수 있습니다.
● 짧은 시작 / 정지 시간.
● 예기치 않은 대기 도입에 저항하는 구조를 가진 터보 분자 펌프.
참고: 의도적으로 공기를 반복적으로 유입하면 오작동이 발생할 수 있습니다.
오일 확산 펌프 배기 시스템 <DPS> 유형
● 고진공 분위기는 더 낮은 비용으로 얻을 수 있습니다.
● 삼방 밸브 스위칭 기능은 보조 펌프의 독립적 인 배기 작동을 가능하게합니다.
● 쉬운 유지 보수 및 검사.
<TPS> 유형
| 모델 | TPS-50ZA | TPS-50ZB | TPS-50ZC | TPS-220ZA | TPA-220ZB | TPS-220ZC |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 터보 분자 펌프 | 50L/s | 220L/s | ||||
| 보조 펌프 | DW-60 | USW-50N | MZ-2CNT | DW-120 | USW-100N | ISP-250C |
| 궁극의 압력 | ×10-5Pa*1 | ×10-3Pa*1 | ×10-5Pa*1 | ×10-4Pa*1 | ||
| 시작/중지 시간 | 3/3min*2 | 2.2/3.5min*2 | ||||
| 흡기 직경 | VG-65 | VG-100 | ||||
| 전력 요구 사항(AC) | 100V 15A | |||||
| 질량 | 약 51kg | 약 55kg | 약 45kg | 약 56kg | 약 59kg | 약 70kg |
| 외부 치수 (W×D×Hmm) | 600×400×700 | 600×400×750 | 600×400×700 | 600×400×730 | 600×400×800 | 600×400×850 |
<DPS> 유형
| 모델 | DPS-2-ZA | DPS-2-ZB | DPS-3-ZA | DPS-3-ZB | DPS-4-ZA | DPS-4-ZB |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 오일 확산 펌프 | 58L/s | 150L/s | 215L/s | |||
| 보조 펌프 | DW-60 | USW-50N | DW-120 | USW-100N | DW-120 | USW-150N |
| 도달 압력 | ×10-4Pa*3 | |||||
| 시작 시간 | 17 min*2 | 22min*2 | ||||
| 흡기 직경 | VF-50 | VF-80 | VF-100 | |||
| 전력 요구 사항(AC) | 100V 15A | 100V 15A×2*4 | ||||
| 질량 | 약 57kg | 약 60kg | 약 68kg | 약 70kg | 약 70kg | 약 80kg |
| 외부 치수 (W×D×Hmm) | 600×400×935 | 600×400×995 | 600×400×1095 | 600×400×1030 | 600×400×1130 | |
* 2. 시동 시간은 공기 흡입구가 닫힌 값입니다. 시간은 챔버 볼륨에 따라 다릅니다.
* 3. 공기 흡입구가 닫힐 때의 값입니다.
* 4. 보조 및 주 펌프의 경우 두 개의 별도의 전원 플러그가 있습니다.
* 고객의 유용성과 사양에 따라, 우리는 또한 다양한 옵션 부품을 통합하고 설정하는 맞춤형 버전을 제조 할 것입니다.
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