KANSETU 열교환기 > 반도체향 UHP-PFA 테플론제 열교환기
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반도체 방향 UHP-PFA 테플론 열교환기
특징
반도체용 UHP-PFA 열교환기는 초고순도 테플론® UHP-PFA 튜브로 만들어진 침지형 열교환기입니다. 용도는 엄격한 순도가 필요한 반도체 제조 에칭액 등의 가열·냉각에 적합합니다. 배관 접속은 용접 접합, 나사 접합, 플레어 접합의 3종류가 있습니다.
・용접접합은 O링을 사용하지 않기 때문에 조립시의 부품수가 적어집니다.
・나사 접합은 O링과 체결 너트로 밀봉되어 있습니다.
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