ASH 가스 치환로 확산로
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| ◆ 가스 치환로 확산로 | |||
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| 형식 | ARF-13A 형 | ||
| 시료 치수 | 50φ 이내 | ||
| 노 수 | 1 개 [52φ × 500mmL] | ||
| 사용 범위 온도 | 상온 ~ 1100 ℃ | ||
| 최고 온도 | 1150 ℃까지 | ||
| 승온 시간 | 상온 ~ 1100 ℃까지 약 30 분 | ||
| 히터 | 1 존 식, 캉탈 선 | ||
| 가스의 종류 | 산소, 질소, 아르곤 | ||
| 설비 전원 | AC200V12A | ||
| ※ 기재의 온도 값은 무부하시의 측정 데이터에서 보증 값은 아닙니다. | |||
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| 형식 | ARF-13A-300-40kc-1P | ||
| 시료 치수 | ** φ 이내 | ||
| 가열 부 치수 | 36φ × 250 | ||
| 사용 범위 온도 | 상온 ~ 1100 ℃ | ||
| 최고 온도 | 1150 ℃까지 | ||
| 승온 시간 | 상온 ~ 1100 ℃까지 약 30 분 | ||
| 히터 | 1 존 식, 캉탈 선 | ||
| 가스의 종류 | 산소, 질소 등 | ||
| 설비 전원 | AC100V 15A | ||
| ※ 기재의 온도 값은 무부하시의 측정 데이터에서 보증 값은 아닙니다. | |||
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| 형식 | ARF-112-4 형 | ||
| 시료 치수 | 2 인치와 3 인치 가능 | ||
| 노 수 | [ID70φ × 2 개] [ID90φ × 2 개] | ||
| 사용 범위 온도 | 상온 ~ 1100 ℃ | ||
| 최고 온도 | 1150 ℃까지 | ||
| 승온 시간 | 상온 ~ 1100 ℃까지 약 60 분 | ||
| 히터 | 3 존 식, 캉탈 선 | ||
| 석영 연소관 | [ID70φ × 1000L] [ID90φ × 1000L] | ||
| 가스의 종류 | 산소, 질소, 아르곤 | ||
| ※ 기재의 온도 값은 무부하시의 측정 데이터에서 보증 값은 아닙니다. | |||
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| 형식 | ARF-151-135-Ⅲ 형 | ||
| 시료 치수 | 4 인치 웨이퍼 25 장 : 1 차지 × | ||
| 노심 관의 치수 | ID135φ × 1400mmL × 2 식 | ||
| 사용 범위 온도 | 상온 ~ 1000 ℃ | ||
| 최고 온도 | 1200 ℃까지 | ||
| 균 열대의 길이 | ± 5 ℃ 중앙부 350mm | ||
| 히터 영역 | 180φ 250 × 350 × 250mmL | ||
| 전기 용량 | AC200V 5.5Kw | ||
| ※ 기재의 온도 값은 무부하시의 측정 데이터에서 보증 값은 아닙니다. | |||
| 형식 | ARF-150 형 | ||
| 시료 치수 | 3 인치 웨이퍼 가능 | ||
| 노 수 | [ID93φ × 1 개] | ||
| 사용 범위 온도 | 상온 ~ 1100 ℃ | ||
| 최고 온도 | 1200 ℃까지 | ||
| 승온 시간 | 상온 ~ 1100 ℃까지 약 60 분 | ||
| 히터 | 3 존 식, 캉탈 선 | ||
| 석영 연소관 | [ID93φ × 1200L] | ||
| 가스의 종류 | 산소, 질소, 수소, 아르곤 | ||
| ※ 기재의 온도 값은 무부하시의 측정 데이터에서 보증 값은 아닙니다. | |||
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