KANJYOURO[ASH] 가스 분위기로 (가스 치환로)
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가스 분위기로 (가스 치환로)
첨단 기술의 합리성
본 기기는 주로 불활성 가스 속의 열처리 연구를 목적으로 설계, 각종 노를 하나의 장치에 패키징함으로써 공간 절약으로 기능적으로 사용할 수 있는 시스템입니다.
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ARF-112-4형 <4연식 확산로>
사양
- 시료 치수：2인치 및 3인치 웨이퍼에 대응
- 노수:4개[ID70Ф×2개][ID90Ф×2개]
- 사용온도범위：상온～1100℃
- 승온 시간：상온～1100℃까지 약 60분
- 히터 존:3 존식 110Ф×L900mm
- 가스 종류: 산소, 질소, 수소, 아르곤
ARF-151-135-Ⅲ형 <복식 확산로>
사양
- 시료 치수：4인치 웨이퍼 25장 1차지×2 계통
- 노심관의 치수：ID135Ф×1400mmL×2식
- 사용 온도 범위：상온～1000℃ 정도
- 균열대의 길이：±5℃ 중앙부 350mm
- 히터 존:180Ф L250×350×250mm
- 전원 용량: AC200V 5.5Kw
- 가스 종류: 산소, 질소
ARF-13A형 <탁상 소형 치환로>
사양
- 시료 치수: 50Ф 이내
- 로수:1개[안 52Ф×500mm]
- 사용온도범위：상온～1100℃
- 최고 한계 온도: 1150°C까지
- 승온 시간：상온～1100℃까지 약 30분
- 히터 관계: 1존, 칸탈선
- 가스 종류: 산소, 질소, 아르곤
- 전원 용량: AC200V 12A
※상세한 사양에 대해서는 문의해 주세요
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