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수지 필름이나 금속박 등의 플렉시블한 기판의 플라즈마 표면 처리를 권취식으로 연속 처리하는 전용 시스템입니다.
진공중의 플라즈마에 의해 강한 플라즈마의 효과를 얻을 수 있습니다.
특히 수지 필름 표면의 클리닝·친수화에 큰 효과가 있어, FPC 기판이나 프린터블 디바이스의 양산 공정에서 사용되고 있습니다.
또한 탄소 섬유로 대표되는 고기능 섬유의 표면 처리에도 유효합니다. 섬유 단체나 직물 형상품의 처리가 가능하고 적극적으로 테스트에 대응하고 있습니다.
기판이나 용도에 맞추어 플라즈마원의 선택을 할 수 있어 최적의 프로세스를 이용하실 수 있습니다.
장치의 기본 구성은 권취식 스퍼터링 장치와 공통화되어 있습니다.
풍부한 실적보다 각종 필름이나 섬유뿐만 아니라 얇은 금속박의 반송에 대응하고 있습니다.
이 장치의 플라즈마 기구는 권취식 스퍼터링 장치에 장비 가능합니다. 이 기구는 성막 전처리로서 매우 유효하고, 플라즈마 처리＋스퍼터링의 연속 처리 장치로서 폭넓은 종류의 기판에 대응할 수 있습니다.

선택 메커니즘

플라즈마 모드 선택
· DC 글로우 방전
· 고주파 방전
· 이온 빔

RF 방전	DC 글로우 방전

 

기판

・수지 필름
・섬유
・금속박 두께 20㎛ 이하도 대응 가능

필름 친수성 평가
PET 필름에 대한 산소 가스 글로우 처리

미처리 물 접촉각 67도	처리 후 물 접촉각 26도