경질막 형성 장치 > 아크 방전형 마그네트론 스퍼터링 장치 > 자동화 생산 장비

독자 개발에 의한 고밀도 마그네트론 캐소드(아크 방전형 마그네트론 캐소드)를 탑재한 전자동 스퍼터링 장치입니다.
신개발 아크 방전형 마그네트론 캐소드는 종래형 캐소드에 비해 저압력·저전압·대전류로의 성막이 특징입니다.
독자적인 고밀도 플라즈마 스퍼터에 의해 다른 PVD법에서는 얻을 수 없는 치밀하고 평활한 경질막을 형성할 수 있습니다.
막질은 치밀화되어 있어 미세한 결정에 의한 벌크에 가까운 구조를 얻을 수 있습니다.
막의 표면 평활성도 매우 우수합니다. 드롭렛이 없고 후처리(연마 등)가 불필요한 경질 질화막·탄질화막을 성막할 수 있습니다.
특히 금형이나 절삭 공구 등의 코팅에 있어서 막질과 아울러 큰 장점이 되고 있습니다.
또 수소 프리의 DLC막(질화탄소막)도 성막 가능하고, 자동차 부품의 슬라이딩성 향상을 목적으로 개발을 진행하고 있습니다.
본 장치는 풍부한 실적을 가진 PIG식 DLC 막 형성 장치와 기본 설계를 공통화하고 있습니다.
아크 방전형 마그네트론 캐소드를 최대 4위안과 DLC막용의 PIG식 플라즈마 건이 탑재 가능합니다.
나노 레벨의 복합 다층막의 형성이나 신규 합금 박막의 작성에도 매우 유효합니다.
PIG식 DLC막 형성 장치와 복합화로 ADMS(아크 방전형 마그네트론 스퍼터) 경질막＋PIG식 DLC 슬라이딩막의 표면 처리 기술로서 향후의 용도 개척을 기대할 수 있습니다

TiN 막의 단면 SEM 이미지