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플라즈마 에칭 장치 EXAM
EXAM은 반도체 양산용 장치의 노하우를 살린 복수의 목적에도 대응 가능한 다목적 플라즈마 에칭 장치입니다.
가스계나 플라즈마 모드의 전환에 의해 에칭이나 애싱 등 동일 챔버 내에서의 멀티 처리가 가능합니다.
【특징】
・250mm□의 처리 스테이지를 가지는 배치식 플라즈마 에칭 장치입니다.
・실리콘, 산화막, 질화막뿐만 아니라 석영의 에칭에도 대응하고 있습니다.
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