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소형 기판 세척기Wafer Cleaning System
소형 기판 세척기
소형 기판 세정기는 직경 2인치 미만의 소형 기판의 세정·건조에 특화한 장치입니다.
2인치 미만의 소사이즈 기판에 대해서 높은 레벨의 세정·건조를 가능하게 한 세계 최초의 장치가 됩니다.
지금까지 직경 2인치 이상의 결정을 얻을 수 없는 신규 재료 기판이나 칩화된 기판 등의 소형 기판에 대한 세정은 딥 세정 등에 수법이 한정되어 있었기 때문에 높은 청정도의 달성은 곤란했습니다. 이 때문에 신규 재료 기판이 2인치 사이즈가 될 때까지 재료 본래의 성능을 이끌어내는 디바이스는 제작 불가능했습니다.
소형 기판 세정기는 이러한 소형 기판의 세정에 대해, LED용 사파이어 기판의 제조 등에서 길러진 독자적인 세정 노하우에 가세해 신규로 개발한 소형 기판 전용의 세정·건조 기구를 채용했습니다. 이로 인해 소형 기판 세정기는 소형 기판에 대해서도 높은 세정 능력을 발휘하여 신규 재료에 관한 개발, 디바이스화를 강력하게 지원합니다.
특징
소형 기판 전용 브러쉬
소형 기판에 대해 낮은 데미지로 높은 부착물 제거 능력을 발휘하는 브러시를 신규 개발
특수 스핀 건조 메커니즘
특수 스핀 건조 기구의 탑재에 의해 발진을 억제해, 소형 기판에 대해서도 워터 마크리스의 건조를 실현합니다.
국제공개：
WO2015-098699 일본특허 ：JP-PAT6471322
커스터마이즈 대응
대상 기판 사이즈의 변경이나 카세트 to 카세트의 자동 반송 등도 대응 가능합니다. 요청 사양이 있으시면 부담없이 문의하십시오.
세척 대상GaN, AlN, 다이아몬드, 사파이어 등의 결정 재료나 광학 유리, 바이오칩 등의 세정에 최적입니다.
세척실 레이아웃
- 기판 반송
- 기판 고정
- 순수 린스
- 브러시 세정(세정액 사용)
- 메가소닉 세척
- 스핀 건조
- 기판 반송
세척 결과의 예
<□5mm 사파이어 기판>
<□5mmGaN 기판>
기판 본래의 표면을 덮고 있던 지립을 세정에 의해 제거할 수 있습니다. 데미지가 들어가기 쉬운 GaN에 대해서도 잠상이 형성되지 않고, 데미지리스 세정인 것이 확인되었습니다.
CL···캐소드루미네센스
시료에 대해 전자선을 입사했을 때의 발광. 이 빛을 분광함으로써 결정의 결함을 관찰할 수 있습니다.
장비 사양
아래의 대표 사양 이외에도 커스터마이즈가 가능합니다. 또한 본 장치를 이용한 위탁 세정 서비스도 실시하고 있습니다. 부담없이 문의하십시오.
| 장치 이름 | 소형 기판 세척기 |
|---|---|
| 세척 방법 | 매엽식 |
| 작업 크기 | □3mm, □4mm, □5mm, φ0.5”, φ1”, φ2” (φ3”, φ4”, φ6” 대응 가능, 그 외 사이즈는 응상담) |
| 세척 시간(권장 세척 조건) | 2min/장 (로드에서 언로드까지) |
| 장비 구성 | 기판 반송 |
| 스크럽 세척 (브러시 높이 조정 가능) | |
| 메가소닉 세척 (주파수: 950kHz) | |
| 스핀 건조 (회전수：～3,000rpm) | |
| HEPA 필터 | |
| 장치 치수(mm) | 480W × 600D × 1,680H |
| 장비 중량(kg) | 200 |
| 유틸리티 | 에어 펌프(외장): 0.5MPa 이상 |
| 순수(권장 세정 조건)： 400ml/장 | |
| 전원 : 100VAC 단상 1,000W |
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