Orbray 소형 모터 > 모터 유닛 > 광간섭식 내주면 정밀 측정기
페이지 정보
본문
광간섭식 내주면 정밀 측정기
Optical Inner Wall Metrology System
지금까지 보이지 않았던 세공 내주면의 비주얼화가 가능하게!
내경·진원도·상처 등을 비접촉 동시 측정
현재 항공우주기기의 연료분사노즐, 의료기기의 중공부품, 분석장치의 정밀노즐, 유체베어링 등 정밀세공가공부품이 다용되고 있어 그 내주면 평가의 중요성이 급증하고 있다. .
비교적 큰 내경의 부품에 대해서는, 각각 내경 측정기, 진원도 측정기, 거칠기・형상 측정기로 계측해 평가하는 것도 가능합니다만, 세공에 대해서는, 부품을 반으로 나누지 않는다 그리고 측정 할 수 없습니다.
당사에서는, 근적외광의 광 간섭을 이용해, 「지금까지 보이지 않았던 세공 내주면의 비주얼화」를 가능하게 한 내주면 측정기 NMH-02를 개발했습니다.
당사의 세계 최소 φ0.9mm 모터, 당사 특허의 투광성 기준 파이프 방식을 적용한 특수 프로브와 마찬가지로 당사 특허의 경사 보정 연산 알고리즘 탑재로 ①측정 최소 내경 φ1.1mm ② 내경/진원도/ 형상의 동시 측정 ③반복 측정 정밀도σ＝0.2μm ④세팅 프리 측정을 실현한 새로운 컨셉의 측정기입니다. 바로 극소경 모터 기술과 광통신 기술을 가진 당사 특유의 제품이라고 할 수 있습니다.
세공의 내주면 관찰·측정이 가능하다는 것은 물론, 지금까지 전용 측정기를 사용하여 따로따로 측정해야 했던 내경, 진원도, 거칠기·형상을 동시에 측정할 수 있는 것으로부터, 약 30분/워크⇒약 30초/워크와 대폭으로 계측 시간을 단축할 수 있어 고객의 측정 스루풋 개선에 크게 공헌하겠습니다.
특징
- 최소 내경 φ1.1mm 보다, 세공의 내경·진원도를 측정 가능
- 반복 측정 정밀도 0.2μm의 고정밀 계측
- 세팅 프리 측정: 독자적인 연산 처리에 의해 워크의 기울기를 자동 보정
- 측정 시간: 기존 측정기 30분 → 본 측정기 30초(내경/진원도/형상 동시 측정)
도입 이미지
측정 사례
링 게이지
|
|
3D 화상 |
2D 내경 데이터 |
|
|
|
|
게이지 직경: φ3.900 |
|
실측 결과：φ3.89977 (중앙 위치) |
Z 축 방향 각 점에서의 내경 값 |
동압 베어링
|
|
3D 화상 |
2D 내경 데이터 |
|
|
|
|
내경:φ1.60 |
|
실측 결과：φ1.60122 |
동압 홈의 자동 검출 |
상처 자동 감지
|
|
내주면 오목 검출 예 |
내주면 세로 상처 검출 예 |
|
|
|
|
게이지 직경: φ3.900 |
|
|
|
광간섭식 내주면 정밀 측정기 측정 원리
 |
|
광 간섭의 원리
빛은 파도의 본질을 가지고 있습니다. 파의 성질로서, 동일한 파장의 파가 중첩되어 새로운 파의 형태가 탄생한다. 이것을 간섭이라고 한다. 파동이 겹치는 타이밍(위상)에 따라서는, 파끼리가 강하게 맞추는 것으로 새로운 파의 크기(진폭)가 커지거나, 혹은 반대로 약해져서 작아지거나 한다.
빛이 갖는 파의 특성으로 인해 빛의 간섭 = 빛 간섭이 발생합니다.
- 산과 산, 계곡과 계곡이 겹친다 = 동 위상 → 간섭 광극대
- 산과 계곡, 계곡과 산이 겹친다 = 역위상 → 간섭광극소
- 다른 파장의 빛이 겹친다 → 간섭하지 않고
분광 간섭 방식의 원리
광 간섭을 이용하는 측정기에서는, 기준면에서 반사하는 광과 피측정물 표면에서 반사하는 광을 간섭시킨다. 분광 간섭 방식에 사용되는 광대역 광원 (SLD)은 광범위한 파장의 광을 포함하며, 각 파장의 반사광은 간섭을 일으킨다. 이때, 광로의 거리(기준면과 비측정물 사이의 거리의 왕복분)가 파장의 정수배가 되는(파의 수가 정수가 되는) 경우, 그 파장에서의 간섭광이 최대가 된다. SLD 광의 파장에는 폭이 있기 때문에, 간섭 광이 최대가되는 파장이 몇 개 나타난다. 측정 거리가 변하면 간섭광이 최대가 되는 파장의 조합이 변한다.
얻어진 간섭 광을 분광기로 파장마다 나누면, 최대가 된 파장은 명명, 최소가 된 파장은 어두워지고, 간섭 줄무늬(명암)가 나타난다. 분광 간섭 방식에서는, 이 간섭 줄무늬의 광 강도를 해석함으로써, 기준면과 피측정물과의 거리를 측정한다.
광간섭식 내주면 정밀 측정기 영화
- 이전글소형 모터 > 모터 유닛 > 다이어프램 펌프 23.04.25
- 다음글소형 모터 > 모터 유닛 > 협동 로봇용 엔드 이펙터 K 3 HAND 23.04.25
