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초고진공 스퍼터링 장치
스퍼터실에서 10⁻⁷Pa의 백그라운드 배기 성능을 가지는 초고진공 대응의 목엽식 스퍼터링 장치입니다.
로드록실·카세트실·반송실·스퍼터실의 총 6실로 구성되어 초고진공 중에서의 다층 성막·일환 처리가 가능합니다. 자기 디바이스나 화합물 등의 개발에 매우 유효합니다.
【특징】
자기 디바이스·질화물·산화물 반도체 등 최첨단 디바이스의 연구 개발용
최대 φ8인치 웨이퍼까지 대응의 최신 멀티 챔버 시스템
장비 사양 (STM2323)
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