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권취식 스퍼터링 장치
수지뿐만 아니라 금속박의 연속 권취 처리를 실현한 RtoR 타입 최신 성막 장치입니다.
캐소드·플라즈마 처리 전극·가열 기구 등 각 기구를 유닛화, 폭넓은 용도에 대응하고 있습니다.
SDR형 장치 사양
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수지뿐만 아니라 금속박의 연속 권취 처리를 실현한 RtoR 타입 최신 성막 장치입니다.
캐소드·플라즈마 처리 전극·가열 기구 등 각 기구를 유닛화, 폭넓은 용도에 대응하고 있습니다.