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인라인 스퍼터링 장치
유리 기판을 대상으로 한 통과 성막형 인라인 타입의 스퍼터링 장치입니다.
직사각형 캐소드를 다원으로 장비하고 있어 프로세스나 생산수에 맞추어, 성막실, 가열실, 냉각실등의 조합을 임의로 선택할 수 있습니다.
대형 기판에 균일한 막두께 분포 성능을 가지며, 안정된 양산 프로세스를 실현합니다.
【특징】
목적에 맞추어 실적 기종보다 개별 요구에 유연하게 대응합니다.
고효율 직사각형 캐소드를 장비하고 있어 장기간 안정된 성능을 실현합니다.
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