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로드록 스퍼터링 장치
본 기기는 공간 절약을 실현한 로드록식 스퍼터링 장치입니다.
카세트실에 최대 Φ270의 트레이가, 표준으로 12장 세트 가능하고, 연속 스퍼터링을 실시할 수 있습니다.
【특징】
본 기기는, Φ100mm 캐소드를 3원 설치하고 있기 때문에, 다층막을 형성할 수 있습니다.
Φ250mm내 ±10% 이하의 막두께 분포를 실현하고 있습니다.
반송실 및 성막실은 상시 진공 유지되므로 처리량의 단축이 가능한 공간 절약형 로드록식 스퍼터링 장치입니다.
터치 패널의 채용에 의해, 리얼타임으로 프로세스 확인을 실시할 수 있습니다.
장비 사양 (STL5321 STL5111 STL5311)
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