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밸브(진공 밸브)
【고진공 밸브】
디스크 개방시의 컨덕턴스를 크게 취하여 누설량이 적고 펌프의 배기 속도를 손상시키지 않는 설계로 되어 있습니다.
・본체 재질은 SS400+니켈 도금, SUS304 등이 있습니다. ・씰 재질은 니트릴 고무, 불소 고무 등
이 있습니다
. 작동시 He 누설 검출기로 검사)는 1.3×10-9Pa・m3/sec 이하입니다.
SV-S 시리즈 (SV-3/4S SV-1S SV-2S SV-3S SV-4S SV-6S)
수동식 고진공 밸브
S자형으로 배관을 구부리지 않고 사용할 수 있습니다.
SV-L 시리즈 (SV-3/4L SV-1L SV-2L SV-3L SV-4L SV-6L SV-8L SV-10L)
수동식 고진공 밸브
L자형으로 진공 밸브의 기본형입니다.
SNV-S 시리즈 (SNV-1S SNV-2S SNV-3S SNV-4S SNV-6S)
공압식 고진공 밸브
S자형으로 배관을 구부리지 않고 사용할 수 있습니다.
솔레노이드 밸브의 전압은 임의로 선택할 수 있습니다.
옵션으로서 개폐 지시용 스위치가 있습니다.
내압 방폭 사양도 제작 가능합니다.
SNV-L 시리즈
공압식 고진공 밸브
L자형으로 진공 밸브의 기본형입니다.
솔레노이드 밸브의 전압은 임의로 선택할 수 있습니다.
옵션으로서 개폐 지시용 스위치가 있습니다.
내압 방폭 사양도 제작 가능합니다.
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