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오일 확산 펌프
【공통 사양】
・작동유는 네오백 SX(SH-704) 혹은 라이온 A입니다
・작동유가 DC-705의 경우, 도달 압력 4×10 -6 Pa, 전력은 20퍼센트~
45퍼센트 업이 됩니다
・유 증기의 역유량은 7×10 -7 ~2×10 -8 g/min・cm 2 이하입니다
【특징】
・배기 속도가 큰
・유증기의 역류가 적다 ・히터의 수명이 길다(
알루미늄 주입 히터를 채용)
표준형 오일 확산 펌프의 사양 및 치수표 (SD-3 SD-4 SD-6 SD-8 SD-10 SD-14 SD-16 SD-22)
사이드 이젝터형 오일 확산 펌프의 사양 및 치수표 (SD-4H SD-6H SD-8H SD-10H)
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