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기계식 부스터 펌프
【구조】
평행한 2개의 축에 2개의 밸런스가 잡힌 눈썹형 로터가 고정되어 전동기에 의해 구동됩니다.
로터가 회전하면 흡입구에서 들어간 기체는 케이싱과 로터의 공간에 갇혀 배기구보다 연속적으로 배출되어 효율적으로 진공을 만들어 냅니다
【특징】
・배기 특성이 매우 뛰어납니다.
・조작이 간단하고, 보수도 용이합니다.
・긴 수명입니다.
・컴팩트하고, 저진동입니다.
・깨끗한 진공을 얻을 수 있습니다.
・안전한 수평형을 채용하고 있습니다.
【후단 펌프의 선정에 있어서】
기계 부스터 펌프는, 대기압까지 압축·배기가 가능한 펌프가 아닙니다. 그리고 성능도 후단 펌프의 기종·성능에 따라 변화합니다. 따라서 기계식 부스터 펌프를 사용하여 배기 시스템을 구성 할 때 필요한 목적에 가장 적합한 후단 펌프를 선택해야합니다.
・후단 펌프의 배기 용량은 1/2~1/10으로 펌프를 선정합니다.
조업 압력이 비교적 높은 연속 운전 압력의 경우는 대용량의 펌프를,
또 조업 압력이 낮은 연속 운전 압력의 경우는 소용량의 펌프를 선정해 주십시오.
・오일 회전 펌프와 수봉식 펌프의 성능의 특징을 이용하여, 고진공에서의 운전에는 후단 펌프는 오일 회전 펌프를, 또, 저진공으로 응축성 가스를 다량으로 배기하는 경우에는
물 밀봉식 펌프를 선정하십시오.
・사양에 의해 펌프의 조합이 여러가지 생각되기 때문에, 선정전에 꼭 문의해 주세요.
SMB・SMB-C형 (SMB-200 SMB-C06 SMB-C15 SMB-C25 SMB-5000 SMB-10000)
SMB-CM형
SMB-C06M형은 마그넷 커플링을 채용하는 것으로 대기압으로부터의 구동이 가능하게 됩니다.
SMB-D(DM) 시리즈(알루미늄제 직결형 부스터 펌프)형
(SMB-100D SMB-100DM SMB-300D SMB-300DM SMB-600D SMB-600DM)
· 주요 재료가 알루미늄 등으로 구성되어 있기 때문에 경량화가 실현되었습니다.
・마그넷 커플링의 채용에 의해, 대기압으로부터의 운전이 가능해져, 배기 시간을 약 50%도 단축할 수 있습니다. (DM형)
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