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드라이 진공 펌프(스크류식) SSH 시리즈
고성능 DCBL 모터를 탑재한 에너지 절약 펌프입니다.
【특징】
●고효율 DC 브러시리스 모터의 채용
DC 브러시리스 모터를 회전수 제어함으로써 시동 전류를 저감해, 통상 운전시에도 「POWER MODE」와 「ECONOMY MODE」 선택할 수 있는 사양이 되고 있습니다. (운전 중에도 전환 가능). 또, 50/60Hz의 지역에 의한 능력차를 해소해, 헤르츠프리를 실현했습니다.
●Economy & Ecology
Economy 연간 약 ¥64,000의 절전 효과※
Ecology 연간 약 1,400kg의 CO2 배출량을 삭감※ ※유도 모터 대비 연간 약 9,000h 운전한
경우 제어도 가능합니다.
【용도】
· 반도체 제조, 전자 부품 제조 (증착, 스퍼터링, 에칭, 후 공정 장치 등)
· 일반 산업 (흡착 반송, 가스 치환, 밀봉 배기,멸균 등)
· 연구 개발 (증발기, 환경 시험기 등)
SSH 시리즈 사양 (SSH100 SSH150 SSH200)
SSH 시리즈 성능 곡선
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