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열·표면 처리
모든 업계에서 계속 발전하고 있는 열처리 사업을 위해 진공열처리로, 고압소결로, 핫프레스, 고순화로, 진공침탄장치, 진공탈지세척기 등 다채로운 라인업 열처리설비 제공, 및 열처리 가공을 다루고 있습니다. 또한 PVD/PACVD/CVD 기술에 의해 항공우주, 자동차부품, 의료기구, 장식용도, 금형, 절삭공구 등의 폭넓은 업계용으로 고경도, 저마찰, 저마모, 고내식성 등을 실현하는 첨단 박막 및 표면 처리 사업 솔루션을 제공합니다.
신소재 제조설비
핫 프레스
고압 소결로·탈지 고압 소결로
핫 프레스
개요
핫 프레스는 고온·진공 하에서 처리품을 가압 성형하는 장치로 1984년 1호기 이후 대형화·고면압화·생산성 향상 등의 사용자 요구에 대응하기 위해 개발·개량 갔다. 흑연제의 형에 분말을 충전하여 타겟재·세라믹·각종 전자 재료용 기판 등의 성형체를 작성하는 소결 분야와 금속·세라믹·복합 재료 등을 접합·성형 처리하는 확산 접합 분야의 양 용도에 대응할 수 있습니다.
또, 신분야로서 열간 금형에 의한 금속판의 프레스 성형과 초소성 성형에 사용하는 열간 성형기를 개발했으므로, 아울러 소개합니다.
- 접합용 핫 프레스 단축형
특징
- 프레스 프레임리스의 컴팩트하고 경량 구조
- 균일한 면압 확보와 안정된 프레스 성능
- 최적의 히터 설계로 양호한 온도 분포
개요
가열실용으로 장착한 워크를 고온에서 프레스 처리함으로써, 각종 소재의 접합·성형 처리를 실시합니다.
확산 접합 장치 및 브레이징 장치로 자주 사용됩니다.용도
- 확산 접합: 열교환기, 방열판, 금형
- 납땜 처리: 알루미늄, 구리 방열판
- 성형 처리
표준 사양
접합용 핫 프레스 다축형
특징
- 2,4,6,8…등 다채로운 다축의 조합이 가능
- 최대 24축까지의 실적
- 축별 다축 동조 제어/단축 제어 선택 가능
- 균일한 면압 확보와 안정된 프레스 성능
- 존 분할에 의한 양호한 온도 분포
개요
가열실용으로 장착한 워크를 고온에서 프레스 처리함으로써, 각종 소재의 접합·성형 처리를 실시합니다.
확산 접합 장치 및 브레이징 장치로 자주 사용됩니다.
다축으로 함으로써 대면적 워크의 처리나 한 번에 대량의 처리가 가능해집니다.용도
- 확산 접합: 열교환기, 방열판, 금형
- 납땜 처리: 알루미늄, 구리 방열판
- 성형 처리
대응 사양
＊실적을 기재. 상기 이외의 요구에도 대응 가능합니다.
소결용 핫 프레스
특징
- 타겟재용 1000℃급 저온용부터 세라믹스용 2500℃급 고온용까지 폭넓은 온도역에 대응
- 대구경 몰드나 키가 큰 다단 적층 몰드 등 대형 워크에 대해서도 뛰어난 균열성을 확보
- 대형·고면압 워크용 C/C 몰드의 풍부한 실적
- 균일한 면압 확보와 안정된 프레스 성능
- 10,000kN급의 고압력・70MPa급의 고면압에 대응
- 두꺼운 워크나 다층 워크에는 IHI 독자적인 상하 압력 방식을 적용
- 존 분할에 의한 양호한 온도 분포
- 프로그램 냉각이나 가압 냉각 방식에 의해 프로세스에 맞춘 임의의 냉각이 가능
개요
흑연성의 몰드 내에 충전된 워크를 고온·고압화로 프레스 처리함으로써, 타겟재·세라믹스·각종 전자 재료용 기판 등의 성형체를 제작.
용도
- 세라믹계의 웨이퍼의 소결 처리
- 타겟 재료의 소결 처리
대응 사양
＊실적을 기재. 상기 이외의 요구에도 대응 가능합니다.
특징
- Ar·N 2 등의 불활성 분위기 사양에도 대응
- 대형 금형의 일체 처리와 소형 금형의 복수 동시 처리에도 대응
- 수평 프레스축을 배치함으로써 수직/수평 동시 프레스의 성형이 가능
- 고압 가스를 이용한 초소성 성형에 대응
- 900℃ 초과의 금형의 고온 반송이 가능
개요
가열실 내에 세트한 열간 금형을 사용하여, 프레스 성형과 초소성 성형을 행하는 장치.
용도
- 열간 성형 처리
- 초소성 성형 처리
대응 사양
＊실적을 기재. 상기 이외의 요구에도 대응 가능합니다.
신소재 제조설비
개요
IHI의 소결로·소성로는 철·스테인리스·서멧·초경합금·각종 세라믹스 등 다종 재료의 소결 처리용으로서 약 30년에 걸쳐 다수의 납입 실적을 가지고 있습니다. 竪型・横型・高温（最高2550℃）・고압（최고10MPa）・연속（터널형・다실형）타입을 갖추고, 고생산성에의 대응, 신소재 상품의 개발 등 다양한 고객의 요구 에 제대로 대답하겠습니다.
탄소재 처리로는 석탄·석유 피치를 원료로 하는 탄소 섬유용 탄화로·흑연화로, 탄소 섬유 복합재용 피치 함침로, 고온 흑연화로, 반도체 제조 장치에 사용되는 탄소재의 고순도 처리 용 순화로 등 메뉴를 갖추고 있습니다. 고온 흑연화로는 최고 3000℃ 승온이 가능하므로, LiB용 부극재를 포함한 각종 재료의 소성·열처리가 가능합니다.
또한 탄소 섬유 제조 설비인 연속식 불융화로, 탄화로도 대응할 수 있습니다.
소결로·소성로
특징
- 설치 장소, 처리품에 의해 하부 장입/상부 장입/측면 장입 방식의 선택이 가능합니다.
- 진공~가압(0.9MPa) 영역에서 뛰어난 온도 균일성을 발휘합니다.
- 가압·가스팬 냉각의 채용에 의해 냉각 시간을 단축합니다.
- 이너 머플의 채용에 의해 탈지·소결시의 아웃 가스로부터 노재를 보호합니다.
- 고효율 왁스 스트랩 채용
용도
- 각종 금속·세라믹 재료의 탈지·소결 처리(소결시에 자중에 의한 변형을 싫어하는 장척물의 소결 등에 적합합니다)
특징
- 조작성・유지보수성이 뛰어난 사이드 도어 형식
- 진공~가압(0.9MPa) 영역에서 뛰어난 온도 균일성을 발휘합니다.
- 가압·가스팬 냉각의 채용에 의해 냉각 시간을 단축합니다.
- 이너 머플의 채용에 의해 탈지·소결시의 아웃 가스로부터 노재를 보호합니다.
- 고효율 왁스 스트랩 채용
용도
- 각종 금속·세라믹 재료의 탈지·소결 처리
특징
- 용도에 맞추어 준형, 가로형을 선택 가능
- 진공~고압(9.8MPa) 영역에서 우수한 온도 균일성을 발휘합니다. (1200℃, 9.8MPa에서 측정용 열전대 9점이 폭 6℃ 이내)
- 1로에서 탈지, 진공 소결, 고압 소결의 연속 처리가 가능
- 수냉 핀 도어(IHI 특허) 채용에 의해 냉각 시간을 단축합니다.
- 이너 머플의 채용에 의해 탈지·소결시의 아웃 가스로부터 노재를 보호합니다.
- 고효율 왁스 스트랩 채용
용도
- 각종 금속·세라믹 재료의 탈지·소결 처리
사양・처리량
특징
- 배치로와 비교하여 수배에서 수십 배의 생산성
- 뛰어난 온도 균일성으로 안정적으로 고품질을 유지할 수 있습니다.
- 프로세스에 따른 실 구성 가능
용도
- 각종 금속·세라믹 재료의 탈지·소결 처리
흑연화로·순화로
용도
- LiB 음극재의 흑연화 처리
- 기타 흑연재의 흑연화 처리
사양・처리량
용도
- 음극재의 초고온 흑연화 처리
- 그 외 흑연재의 고온 흑연화 처리
사양・처리량
용도
- 로켓용 흑연 부재의 흑연화 처리
- 분체·성형체·시트상의 각종 탄소재의 흑연화
- 환경 에너지 관련
- 태양전지 셀·웨이퍼 제조용, 원자력, 연료 전지, 2차 전지 재료, 항공 우주
- 일렉트로닉스 관련
- 반도체 제조용, 액정 패널 제조용, 하드 디스크 제조용
- 기계용 카본 제품, 접동부용 제품, 탄소 섬유, 복합 재료
특징
- 머플 채용에 의해, 프로세스 가스인 할로겐 가스가 외부로 누출되기 어렵고 소량의 할로겐 가스 소비량으로 효율 좋게 순화가 가능
- 할로겐 가스 내식성을 갖게 한 노체 구조·구성
- 머플 내외 동압 제어에 의해, 머플 외 불활성 가스 영향의 저감, 효율 좋게 순화가 가능
- 진공 배기계에 가스 냉각관과 버그 필터식 트랩 채용에 의해 반응 생성물을 효율적으로 포집
용도
- 반도체 제조 장치에 사용되는 탄소재의 고순도 처리용
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