액티브 스크린 플라즈마(ASP) 질화 장치 > 플랜트 설비 장비

▶︎ 질화처리는 경도나 내마모성 등의 기계적 특성 향상을 목적으로 자동차나 항공기 부품, 치공구, 금형 등 다양한 분야에서 공업적으로 이용되고 있다. 특히 플라즈마를 이용한 질화 처리는, 담금질에 비해 비교적 저온(약 500℃)에서 처리를 행할 수 있고, 열 변형이 적은(치수의 오차가 적은) 것 등의 특징으로부터, 차세대 자동차, 로봇, 산업기기용 등 분야에서 시장 요구가 높아지고 있다.

▶︎ 그러나, 종래의 플라즈마 질화법은 처리품을 음극, 노벽을 양극으로 하고, 처리품과 노벽 사이에서 플라즈마를 발생시키기 때문에, 처리품에 대해서 이하에 나타내는 3개의 문제점이 발생하고, 표면 거칠기 나 질화 불균일이 발생합니다.
①엣지 효과・・・각부에 방전이 집중한다(그림1)
②홀로 캐소드 효과・・・처리품의 구멍 직경에 의해 방전에 차이가 나온다(그림2
) 그림 3)