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[¿©°ú] [ȸ¼ö] [ºÐ¸®] [ÁýÁß] [Á¤Á¦]
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7M3-2S3P |
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MBX3-1020-0.1 (¸·°ø°æ : 0.1¥ìm) |
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¿©°ú ¸éÀû |
14.7§³ |
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󸮷® |
5.5§© / h |
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Á¢¾×ºÎ ÀçÁú |
SUS304 (³» ¿Ü¸é »ê¼¼) |
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¹«°Ô |
3200kg (¿îÀü Áß·®) |
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°ü·Ã±â±â |
¡¤ ¿ø¾× ÅÊÅ© ¼øȯ ÆßÇÁ ÀÚµ¿ ¿ª¼¼ ÀåÄ¡ ¡¤ Á¦¾î¹Ý |
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BG °¡°ø Æó¼ö, DC °¡°ø Æó¼ö, CMP Æó¼ö |
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À¯¸® ·»ÁîÀÇ ¿¬¸¶ ¹è¼ö |
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ÀüÀÚ ¿ë ÆäÀ̽ºÆ® ¡¤ ½½·¯¸®ÀÇ Á¤Á¦ ¡¤ ³óÃà ȸ¼ö |
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ÁÖ¿ä Æó¼öÀÇ Åõ°ú À¯¼Ó (FLUX) |
»ç¿ë ¸·°ø°æ |
Åõ°ú À¯¼Ó (l / m 2 h) |
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À¯¸® ·»ÁîÀÇ DC °¡°ø Æó¼ö |
0.2¥ìm |
400 ~ 600 |
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½Ç¸®ÄÜ °øºÎ ºñ¼Ò ¿þÀÌÆÛÀÇ DC °¡°ø Æó¼ö |
100nm |
300 ~ 500 |
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½Ç¸®ÄÜ °øºÎ ºñ¼Ò ¿þÀÌÆÛ BG °¡°ø Æó¼ö |
100nm |
200 ~ 400 |
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CMP (»êȹ° °è) ¹è¼ö |
50nm |
50 ~ 100 |
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CMP (¸ÞÅ» °è) ¹è¼ö |
50nm |
50 ~ 100 |
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°í°´´Ô ²²¼ »ç¾ç¿¡ µû¶ó µðÀÚÀÎÇϱ⠶§¹®¿¡, »ó´ãÇØÁÖ¼¼¿ä. |
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³×¿À´Ð½º ½Ã½ºÅÛÀº NORITAKE Þä ÀÇ ¸ðµç Á¦Ç°À» Ãë±ÞÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ȨÆäÀÌÁö¿¡ ¾ø´Â Á¦Ç°µéÀº ±Í»ç·Î ¹®ÀÇ ÇØÁÖ¼¼¿ä. ¢Ï 052-288-6801 |
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