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진공 펌프 |
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■ 사이버 펌프 CCP 시리즈 |
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・단순 구조의 로터리 베인 형 회전 진공 펌프
・설치가 용이 · 공간 절약
・냉각 팬 내장 |
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주요 사양 |
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CCP-15 |
CCP-30 |
CCP-40 |
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도달 진공 압력 |
-60kPa |
-65kPa |
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전원 |
단상 AC100V |
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■ 로터리 진공 펌프 VTE 시리즈 |
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・로타리 베인 구조 소형 회전하는 진공 펌프
・팬 내장 |
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주요 사양 |
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VTE 조치 3 |
VTE-6 |
VTE-8 |
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도달 진공 압력 |
-81.3kPa |
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전원 |
단상 AC100V 또는 3 상 200V |
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■ 로터리 진공 펌프 VLT 시리즈 |
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・로타리 베인 구조 소형 회전하는 진공 펌프
・저소음 |
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주요 사양 |
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VLT-10 |
VLT-15 |
VLT-25 |
VLT-40 |
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도달 진공 압력 |
-81.3kPa |
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전원 |
단상 AC100V 또는 3 상 200V |
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■ 피스톤 식 진공 펌프 MP 시리즈 |
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・피스톤 식 드라이 펌프
・소형 경량
・저소음
・유지 보수 불필요 |
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주요 사양 |
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MP-3 |
MP-20 |
MP-40 |
MP-80 |
MP-100 |
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도달 진공 압력 |
-80kPa |
-82kPa |
-95kPa |
-96kPa |
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전원 |
DC24V |
단상 AC100V |
단상 AC100V, 단상/삼상 AC200V |
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■ 다이어프램 형 진공 펌프 DA 시리즈 |
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・다이어프램 형의 소형 왕복 식 진공 펌프
・소형 · 경량 |
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주요 사양 |
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DA-20D |
DA-40S |
DA-60S |
DA120S |
DA-121D |
DA-241S |
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도달 진공 압력 |
-96kPa |
-81.3kPa |
-98kPa |
-88kPa |
-98kPa |
-85.3kPa |
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전원 |
단상 AC100V |
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■ 다이어프램 형 진공 펌프 DTC 시리즈 |
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・다이어프램 형의 소형 왕복 식 진공 펌프
・내식성이 뛰어나 클린 룸 |
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주요 사양 |
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DTC-21 |
DTC-41 |
DTC-120 |
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도달 진공 압력 |
-100kPa |
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전원 |
단상 AC100V |
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