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진공 밸브 유닛 MPV 시리즈 |
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■ MPV3 |
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・진공 라인 소형 진공 펌프의 흡착 반송 시스템에 적합하다.
・압력 센서와 파괴 기능을 탑재.
・전자 밸브 제어 기능 센서, MVS-201이 탑재 가능합니다.
・매니 폴드 화 가능 (최대 8 연) |
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유닛의 구성 |
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주요 사양 |
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진공 발생 용 밸브 |
● |
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진공 전환 밸브 |
진공 파괴 밸브 |
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진공 파괴 용 밸브 |
● |
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사용 압력 범위 |
0 ~-90kPa
(VP 포트) |
0.3 ~ 0.5MPa
(P 포트) |
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진공 용 압력 센서 |
● |
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유량 (/ minANR) |
50 |
60 |
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진공 용 필터 |
● |
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밸브의 유로 상태 |
상시 닫힘 |
항상 열림 |
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파괴 유량 제어 니들 |
● |
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주) 유량 조건 : 공급 압력
진공 :-80kPa 진공 파괴 : 0.5MPa |
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진공 유량 제어 니들 |
● |
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■ MPV4 |
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・10mm 폭의 슬림 한 진공 밸브 · 기존 타입 (당사 MPV3)의
체적 비교 1 / 4, 무게 54g 및 소형 경량 구현 기계 · 검사
장치 등의 헤드에 직접 탑재로 고속 흡착 반송이 가능 ·
MC4에게 본체 공유화 같은 공간에서 이젝터 / 밸브 선택
가능
・매니 폴드 화 가능 (최대 8 연) |
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유닛의 구성 |
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주요 사양 |
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진공 발생 용 밸브 |
● |
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진공 전환 밸브 |
진공 파괴 밸브 |
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진공 파괴 용 밸브 |
● |
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사용 압력 범위 |
0 ~-90kPa
(VP 포트) |
0 ~ 0.5MPa
(DP 포트) |
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진공 용 압력 센서 |
● |
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P 포트 공급 압력 |
0.25 ~ 0.5MPa |
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진공 용 필터 |
× |
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유량 (/ minANR) |
19 |
10 |
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파괴 유량 제어 니들 |
● |
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밸브의 유로 상태 |
상시 닫힘 |
항상 열림 |
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진공 유량 제어 니들 |
× |
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주) 유량 조건 : 공급 압력
진공 :-90kPa 진공 파괴 : 0.4MPa |
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■ MPV6 |
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・클린 룸 진공 이젝터 유니트 · 내장 필터 (여과도 0.01μm)를
통한 클린 에어 진공 파괴 · 진공 전환 제어에 더블 솔레노
이드 밸브 탑재 자기 유지 기능이 가능
・집중 배기 사양 |
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유닛의 구성 |
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주요 사양 |
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진공 발생 용 밸브 |
● |
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진공 전환 밸브 |
진공 파괴 밸브 |
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진공 파괴 용 밸브 |
● |
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사용 압력 범위 |
0 ~-90kPa
(VP 포트) |
0.3 ~ 0.5MPa
(P 포트) |
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진공 용 압력 센서 |
● |
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유량 (/ minANR) |
50 |
50 |
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진공 용 필터 |
● |
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밸브의 유로 상태 |
상시 닫힘 |
상시 닫힘 |
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파괴 유량 제어 니들 |
● |
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주) 유량 조건 : 공급 압력
진공 :-90kPa 진공 파괴 : 0.5MPa |
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진공 유량 제어 니들 |
× |
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